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  • 白皮书:REALMETER® 正十二烷(n-C12H26)标准漏孔- 面向EUV光刻HHC污染的可溯源量化基准与管控方法

    REALMETER®白皮书v1.0REALMETER®正十二烷(n-C12H26)标准漏孔-面向EUV光刻HHC污染的可溯源量化基准与管控方法(白皮书).pdf目录回到顶部目录版权声明与免责声明文档信息与版本记录版本变更记录目录图目录
    发布时间:2026-01-10   点击次数:20

  • 睿米®正十二烷(n−C12H26)标准漏孔在半导体/EUV光刻中的作用

    睿米®正十二烷(n−C12H26)漏孔:引领半导体EUV光刻HHC污染量化管控革命摘要随着半导体工艺向3nm及以下节点演进,极紫外(EUV)光刻已成为先进制程的核心支撑技术。然而,重碳氢化合物(HHC)污染作为EUV光刻的关键技
    发布时间:2025-12-26   点击次数:33

  • REALMETER® 标准漏孔技术白皮书

    REALMETER®标准漏孔技术白皮书v1.3|中英切换Bilingual:root{ --fg:#111;--muted:#555;--line:#e6e7ea;--bg:#fff;--soft:#f6f7f9;--
    发布时间:2025-12-26   点击次数:30

  • PSOZV常闭零体积气动阀冲击测试!

    PSOZV常闭零体积气动阀冲击测试!在质谱分析系统、加速器、光源、航空航天等系统,要求长期保持高真空状态。但是,当需要进行校准的时候,可能因为标准漏孔的引入,造成系统真空度的大幅升高,甚至宕机。睿米®历经大量严苛实验与反复迭代优
    发布时间:2025-07-30   点击次数:71

  • 无源标准漏孔选型(一)

    无源标准漏孔选型无源标准漏孔(又称开放式标准漏孔、模拟漏孔或仿真标准漏孔),其核心特点在于自身不带气源,测试所需气源需由现场环境或外部设备提供。无源标准漏孔的选型,跟有源标准漏孔比较,相对复杂一点(有源标准漏孔,因为
    发布时间:2025-07-29   点击次数:60

  • 《睿米®标准漏孔:核心技术解析与典型应用》 以下是根据文档内容整理的 Word 文档框架及核心内容,...

    《睿米®标准漏孔:核心技术解析与典型应用》*以下是根据文档内容整理的Word文档框架及核心内容,您可根据需求进一步编辑格式或补充细节:睿米®标准漏孔核心技术手册——RMI-MTC™微通道工艺与创新设计解析目录1.微通道
    发布时间:2025-06-15   点击次数:80

  • 睿米 RMI-MTC™微通道工艺与传统工艺制作漏孔的区别对比

    《睿米RMI-MTC™微通道工艺与传统工艺制作漏孔的区别对比》微通道工艺与其他工艺制作漏孔的区别对比——基于RMI-MTC™技术与传统工艺的性能解析一、技术原理对比1.睿米RMI-MTC™微通道毛细管工艺•设计核心:采
    发布时间:2025-06-15   点击次数:95

  • 睿米标准漏孔使用寿命长,维护成本低,总体使用成本有什么优势?

    睿米标准漏孔成本优势综合分析一、使用寿命优势材料与工艺保障耐用性睿米标准漏孔采用自研的RMI-MTC™微通道毛细管工艺,其接近理想圆管(50nm-200μm),孔径均匀且遵循流导规律,没有方向性,这使得漏孔在长期使用过程中不易出现
    发布时间:2024-11-03   点击次数:129

  • 标准漏孔产品手册-下载

    发布日期:2024年7月1日(后续更新中...)索取/咨询最新的产品资料请添加:睿米®标准漏孔产品手册&配置指导.pdf睿米®DMC标准漏孔(1).pdf睿米®Air&N2气
    发布时间:2024-08-18   点击次数:233

  • 睿米公司发布SQT-100超级快速吸枪,支持长距离:20米 30米 50米 100米 氦质谱检漏仪(Inficon,Pfeiff...

    SQT-100超级快速吸枪一页纸介绍.pdfSQT-100超级快速吸枪(氦质谱检漏仪通用)氦检和吸枪的革命性创新,成倍提高检漏效率:大吸速、反应超快、长距离(SQT-100,类似Inficon/Leybold检漏仪的QT-100
    发布时间:2020-12-02   点击次数:1089

  • 详解氦质谱仪的整体结构

      氦质谱检漏仪是一种质谱分析仪器,主要用于真空检漏,具有性能好、灵敏度高等优点。一般情况下,氦质谱检漏仪是由质谱室、真空系统、电气系统组成,有时还需要配置辅助的真空系统。以180°的磁偏转型分析器检漏仪举例,其主要组成部分详解如下。  一
    发布时间:2016-09-11   点击次数:269

  • 氦质谱检漏的准确性

    氦质谱检漏仪的准确性氦质谱检漏仪应用广泛,随着科技的进步,对科研器材要求更加严格;生产工艺的改进,对产线的性能要求更高;以及化工企业,管路的严密性好坏直接关系安全;电厂的管路严密,直接关系到节约多少能源等等。所有这些
    发布时间:2016-04-07   点击次数:233

  • 氦质谱检漏仪维修—应用1(ASM142)

    氦质谱检漏仪维修—应用1—ASM142  在设备维修的业务上,睿米本着“高质量、严要求”的原则,为用户提供优质服务。睿米一直在从事进口检漏仪的维修、维护
    发布时间:2016-03-06   点击次数:680

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