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驯服“狂野”的水分子，RGA分析水峰还靠猜？睿米推出难度噩梦级的H₂O标准漏孔，挑战物理极限，重新定义真空校准！
作者：谢单瑞（睿米漏孔研究院）
发布时间：2026年2月3日
在真空计量行业，标准漏孔的制造难度存在明确阶梯：
• 入门级：氦气（He）漏孔（透石英/薄膜工艺），技术成熟；
• 进阶级：氩气（Ar）、氮气（N₂）漏孔（机械压握/毛细管工艺），需精密机械加工；
• 天花板级（噩梦级）：水（H₂O）标准漏孔，因水分子特性成为行业技术瓶颈。
在超高真空（UHV）系统、半导体镀膜制程（PVD/ALD）中，水分子是工程师最头疼的“敌人”，主要体现在三点：
1. 最难除净的本底气体：占残余气体的90%以上，抽气过程中难以彻底清除；
2. 薄膜质量的“隐形杀手”：直接影响薄膜附着力与晶格质量，降低制程良率；
3. 最难精准定量的气体：因水分子极强的吸附性与相变不稳定性，市面上长期缺乏成熟的商业化水标准漏孔，导致使用RGA（残余气体分析仪）时，只能通过氢气/氩气标定、查表估算水含量——“估算”意味着50%-100%的误差，更伴随生产风险。
上海睿米（RealMeter）推出的PSOZV系列H₂O水蒸气标准漏孔，并非简单的计量器具，更是其在微纳流控与真空物理领域的技术集大成之作。核心价值在于：
• 攻克水分子在微通道内的吸附难题；
• 提供输出稳定、量值可溯源的水蒸气标准源；
• 终结RGA分析水峰“靠猜”的现状，实现H₂O峰原位绝对定量。
• 技术痛点：传统阀门关闭时会积聚水汽，开启瞬间形成巨大压力脉冲（Burst），极易导致RGA灯丝跳闸、倍增器过载；
• 睿米解决方案：zhuanliPSOZV™（Positive-Shut Off Zero-Volume）气动阀，将死体积压缩至＜0.1μL；
• 核心优势：
￮ 无冲击：开启即稳定输出，保护昂贵的质谱仪设备；
￮ 高纯度：采用蒸馏水（H₂O）作为介质，无杂质干扰校准结果。
• 区别于传统工艺：摒弃易碎的薄膜渗漏技术，采用微通道毛细管结构；
• 关键处理：通过特殊内壁钝化处理，最大程度降低水分子的“粘壁”效应，确保长期输出稳定性，避免流量忽大忽小。
尊重水的物理特性，不夸大指标，明确告知使用条件，保障科研级精度：
• 温度系数：约9.5%/℃（指数级变化），由水的饱和蒸气压特性决定，提供精确修正公式，需在恒温环境（温变＜1℃/hour）使用或严格数学修正；
• 预抽时间：首次使用或破真空后需预抽24小时（建立充分解吸平衡），常规使用预抽10分钟即可（注：H₂O、DMC等液体介质均需24小时预抽）。
序号 | 名称 | 参数详情 |
1 | 订货号 | RM5H201.5-6pa |
2 | 漏率 | 1.5×10⁻⁶ Pa·m³/sec（23℃）；支持定制，加工公差±30% |
3 | 介质 | 水（H₂O，蒸馏水） |
4 | 制作工艺 | 微通道毛细管 + PSOZV™常闭气动阀（1个） |
5 | 接口/出口压力 | 接4mm或6mm气管；工作环境需真空（＜0.1Pa） |
6 | 温度系数 | 指数变化，9.5%/℃ |
7 | 预抽时间 | 首次使用/破真空后：24小时；常规使用：10分钟 |
8 | 校准精度 | ±15% |
9 | 工作温度 | 标定于23℃（需恒温环境） |
10 | 驱动方式 | 0.4-0.6 MPa压缩空气驱动（常闭阀，断气自动关闭） |
11 | 典型产品标签信息 | 型号：RM5H₂O1.5-5pa；SN：510011；校准号：251018-01；校准日期：2025/10/18 |
零死体积设计是水漏孔的“必须项”——普通阀门的压力脉冲会直接损坏RGA核心部件，而睿米的PSOZV™阀门确保水分子开启瞬间线性输出，从根源避免设备故障，降低运维成本。
通过内壁钝化处理，解决水分子极性强、易吸附的核心问题，使漏孔输出流量稳定可控。以标称漏率1.32×10⁻⁶ Pa·m³/sec（1.32×10⁻⁵ mbar·L/sec）、±15%不确定度为例，证明其工艺已突破水分子吸附带来的不稳定性难题。
• 9.5%/℃的温度系数远高于普通氦漏孔（约3%/℃），但如实标注并提供修正方案，避免用户因参数误导导致校准误差；
• 24小时预抽时间看似“麻烦”，实则遵循物理铁律（水分子需时间建立动态平衡），拒绝“即插即用”的虚假宣传，体现对用户精度需求的尊重。
该漏孔为“科研级（Research Grade）精密计量器具”，主要适配四大高端场景：
1. RGA原位校准：直接对质谱图中Mass 18（H₂O）峰进行绝对定量，无需依赖RSF估算，确保分析数据真实可信；
2. 高端镀膜工艺开发：适用于OLED、半导体PVD/ALD、低温多晶硅（LTPS）等制程，精确量化腔体内水汽分压，研究水对成膜质量的影响阈值；
3. 真空材料放气率研究：作为标准参照源，用于热脱附谱（TDS）系统的灵敏度标定；
4. 超高真空（UHV）计量研究：供国家级计量实验室、高校科研院所开展极限真空下的物理实验。
• 市面上95%的漏孔厂商仅能生产氦气、氩气、氢气漏孔；
• 能提供成熟商业化水标准漏孔的厂商凤毛麟角，睿米产品属于“Niche & Premium（小众高端）”稀缺品。
• 技术层面：证明睿米具备深厚的真空物理与流体力学技术底蕴；
• 产业层面：为需要严格控制水汽分压的高端智造领域（如半导体、OLED）提供“人无我有”的关键工具，助力工艺升级与精度突破。
