上海睿米仪器仪表有限公司
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长期以来，、 以及被称为无人区的 极微小泄漏标定，一直是制约半导体、航空航天等高端产业的技术瓶颈。
今日，睿米（RealMeter） 正式发布全系列微通道型超高精度氦气标准漏孔（Calibrated Leak Standards），以整体矩阵之姿，达到国际领先水平！
在超高精度领域，传统技术主要采用石英或金刚石等渗透膜工艺。但在面对 10⁻¹¹~10⁻¹³ 这一量级区间时，传统工艺的缺陷会被无限放大：
温漂严重：温度系数高达 4.0%/℃，环境微小温差即可导致漏率剧烈波动。
本底干扰：传统密封工艺存在约 10⁻¹⁰ 的本底泄漏，在标定更小信号时，真实数据极易被背景噪声淹没。
稳定性差：渗透材料脆弱易碎，且漏率随时间衰减明显，维护成本极高。
睿米通过自研 RMI‑MTC™ 微通道毛细管技术，结合 RMI‑Metal™ 全金属密封工艺，实现了从 全量程的跨代演进：
极致稳定：有源型漏孔温度系数低至 0.1%/℃，稳定性较传统技术提升了约 40 倍！
纯净背景：全金属密封确保本底泄漏 < 1×10⁻¹⁵ atm·cc/s，为超高真空测量提供清澈的基准。
硬核品质：支持 400 Bar 高压反复冲击，具备卓越的抗震抗摔性能，对运输和环境无特殊要求。
近乎零衰减：漏率年衰减率 < 0.1%，几乎实现了终身免充气、免维护。
睿米是目前全球唯一支持 量级微通道型标准漏孔的厂家，实现了从工业精密到科学极限的全方位覆盖。
核心工艺：RMI-MTC™微通道毛细管技术 + RMI-Metal™全金属密封工艺
产品定位：全球首款微通道型 10⁻¹¹/10⁻¹²/10⁻¹³Pa・m³/sec 超高精度 He 标准漏孔，自研 RMI-MTC™微通道毛细管 + RMI-Metal™全金属密封工艺，颠覆传统渗透膜技术，实现高稳定、高耐受、低衰减，适配半导体、航空航天、超高真空计量等高端领域精密检漏 / 校准需求。
参数项 | 10⁻¹¹ Pa·m³/s 级别 | 10⁻¹² Pa·m³/s 级别 | 10⁻¹³ Pa·m³/s 级别 |
|---|---|---|---|
产品型号 | TLS-11P | TLS-12P | TLS-13P |
官方订货号 | RM51L-111711V0/6 | RM51M-121711V0/6 | RM51X-131711V0/6 |
核心漏率 | (1.0~3.9)×10⁻¹¹ Pa·m³/s | (4.0~6.9)×10⁻¹² Pa·m³/s | (1.0~9.9)×10⁻¹³ Pa·m³/s |
等效漏率 | 10⁻¹⁰ mbar.L/s | 10⁻¹¹ mbar.L/s | 10⁻¹² mbar.L/s |
适用气体 | 100%He | ||
气室规格 | 100cc | ||
充气压力 | 1.5Bar | 50Kpa | 15Kpa |
阀门配置 | 手动隔膜阀，与漏孔一体化设计，无外漏 | ||
标配接口 | VCR ¼ male，可转接KF16/KF25/CF16/CF35等 | ||
出口压力 | 真空（Vacuum） | ||
使用温度 | -20~65℃ | ||
温度系数 | 0.1%/℃ | ||
漏率衰减 | <0.1%/年，永久无需补气 | ||
密封性能 | 全金属密封，自身泄漏＜1×10⁻¹⁵atm.cc/sec，无外漏 | ||
物理尺寸 | 240mm(长)×80mm(最宽) | ||
配套证书 | 默认出厂检测证书，可按需提供国防科技工业真空一级计量站校准证书 | ||
操作与使用说明
阀门操作：手动隔膜阀手柄轻旋即可，禁止死拧，避免阀体损坏；
接口连接：标配VCR ¼ male转KF25，定制接口需按厂家指导规范连接，防止密封失效；
环境要求：使用温度-20~65℃，避免极端温湿度环境，无需额外防护，正常运输/使用即可。
