Calibrated Leak Standards with Positive-Shut Off Zero-Volume Pneumatic Valve
实物照片:标准漏孔,带RMI-PSOZV™主动关闭零体积气动阀,气体组份:Kr-84(>56atom%) :Xe-132(94atom%) :Ar-40:N2-28: He-4=1:1:1:1:1
阀体死体积<0.1μL/系统零冲击|极低气体损耗&衰减 | 适合大漏率、超高真空、半导体、四极质谱、昂贵气体等场景
支持所有气体/混气:10-1 ~10-6mbar.L/s漏率定制,He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4...
RMI-PSOZV™主动关闭零体积气动阀以及RMI-PSOZV™标准漏孔工作原理
睿米®自研RMI-PSOZV™主动关闭零体积气动阀,结合RMI-Metal™金属密封和RMI-MTC™微通道毛细管工艺,不使用时强制关闭阀门,标准漏孔的死体积(Dead Volume)<0.1μL(仅0.000098cm³),业界首创,处于国际领先水平。
1.高真空或超高真空系统零冲击RMI-PSOZV™阀的死体积(Dead Volume)仅为0.000098cc,仅为同类阀门死体积(~0.1~1cc)的1‰或更小,阀门打开时不会冲击高真空或超高真空系统。 *死体积是指阀门关闭时漏孔与阀门关闭处的死空间,阀门关闭时漏孔继续泄漏到死空间累积直至压力平衡。所以常规阀门的标准漏孔会在关闭阀门一段时间后打开,死空间累积的气体会瞬间释放,冲击真空系统。死体积越大每次开关阀门气体损耗和漏孔衰减也越大。* 举例说明:假定气室体积1000cc,压力为2Mpa: 常规阀门漏孔:死体积1cc,阀门关闭平衡后死空间累积气体=1x20=20cc,打开阀门瞬间冲击足以使高真空系统破坏、污染、或重启,需要长时间恢复; RMI-PSOZV™漏孔:死体积0.000098cc,阀门关闭平衡后死空间累积气体=20x0.000098=0.0196cc,不会对系统造成冲击。
3.极低衰减|漏率稳定|多年免补气|免维护RMI-PSOZV™漏孔不使用时阀门强制关闭、及接近于0的死体积设计(0.000098cc)的设计,实现气体的最小损耗。 RMI-MTCTM微通道毛细管以及RMI-Metal™金属密封工艺,区别于其他厂家如VTI 的PSO标准漏孔采用的为减少死体积采用的金属压扁(容易蠕变造成漏率不准或堵塞)和PTFE密封(自身渗透漏率很大),可以做到漏率精确且稳定,多年无需补气、免维护。
4. 适合大漏率、高真空/超高真空、四级杆质谱等场景,特别是需要使用昂贵气体、保证气体纯度的场景(如Xe,Kr等同位素气体)
5. 支持He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4, C2H6,…,等所有气体,或混合气(如Xe-132:Kr-84:N2:Ar:He=1:1:1:1:1:1, 客户指定比例或提供的气体)