Calibrated Leak Standards with Positive-Shut Off Zero-Volume Pneumatic Valve
实物照片：标准漏孔，带RMI-PSOZV™主动关闭零体积气动阀，气体组份：Kr-84(>56atom%) :Xe-132(94atom%) :Ar-40:N2-28: He-4=1:1:1:1:1
阀体死体积<0.1μL/系统零冲击|极低气体损耗&衰减 | 适合大漏率、超高真空、半导体、四极质谱、昂贵气体等场景
支持所有气体/混气：10-1 ~10-6mbar.L/s漏率定制，He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4...
RMI-PSOZV™主动关闭零体积气动阀以及RMI-PSOZV™标准漏孔工作原理
睿米®自研RMI-PSOZV™主动关闭零体积气动阀，结合RMI-Metal™金属密封和RMI-MTC™微通道毛细管工艺，不使用时强制关闭阀门，标准漏孔的死体积(Dead Volume)<0.1μL（仅0.000098cm³），业界首创，处于国际领先水平。
1.高真空或超高真空系统零冲击RMI-PSOZV™阀的死体积（Dead Volume）仅为0.000098cc，仅为同类阀门死体积（~0.1~1cc）的1‰或更小，阀门打开时不会冲击高真空或超高真空系统。 *死体积是指阀门关闭时漏孔与阀门关闭处的死空间，阀门关闭时漏孔继续泄漏到死空间累积直至压力平衡。所以常规阀门的标准漏孔会在关闭阀门一段时间后打开，死空间累积的气体会瞬间释放，冲击真空系统。死体积越大每次开关阀门气体损耗和漏孔衰减也越大。* 举例说明：假定气室体积1000cc，压力为2Mpa： 常规阀门漏孔：死体积1cc，阀门关闭平衡后死空间累积气体=1x20=20cc，打开阀门瞬间冲击足以使高真空系统破坏、污染、或重启，需要长时间恢复； RMI-PSOZV™漏孔：死体积0.000098cc，阀门关闭平衡后死空间累积气体=20x0.000098=0.0196cc，不会对系统造成冲击。
3.极低衰减|漏率稳定|多年免补气|免维护RMI-PSOZV™漏孔不使用时阀门强制关闭、及接近于0的死体积设计（0.000098cc）的设计，实现气体的最小损耗。 RMI-MTCTM微通道毛细管以及RMI-Metal™金属密封工艺，区别于其他厂家如VTI 的PSO标准漏孔采用的为减少死体积采用的金属压扁（容易蠕变造成漏率不准或堵塞）和PTFE密封（自身渗透漏率很大），可以做到漏率精确且稳定，多年无需补气、免维护。
4. 适合大漏率、高真空/超高真空、四级杆质谱等场景，特别是需要使用昂贵气体、保证气体纯度的场景（如Xe，Kr等同位素气体）
5. 支持He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4, C2H6，…，等所有气体，或混合气(如Xe-132:Kr-84:N2:Ar:He=1:1:1:1:1:1, 客户指定比例或提供的气体)
