睿米®RM5D1.0-71545V0/6 氘气D₂标准漏孔(MDZV™阀)
高精度·零体积·低衰减
一、产品概述
核心定位
睿米®RM5D1.0-71545V0/6是专为氘气(D₂)设计的高精度标准漏孔,搭载RMI-MDZV™零体积手动阀,核心优势为呆体积<0.1μL,阀门开关对高真空/RGA(残余气体分析)系统无冲击,适用于对漏率稳定性、气体损耗控制要求极高的场景。
基础信息
订货号:RM5D1.0-71545V0/6
气体类型:100%氘气(D₂)
标称漏率:(1.0~1.5)×10⁻⁷Pa·m³/sec(入真空,23.0℃环境)
漏率精度:不确定度±10%,加工公差±10%
核心组件:160cc气室 + RMI-MDZV™零体积手动阀
二、详细技术规格
| 序号 | 项目 | 具体参数 |
|---|---|---|
| 1 | 订货号 | RM5D1.0-71545V0/6 |
| 2 | 气体类型 | 氘气(D₂),纯度100% |
| 3 | 漏率 | (1.0~1.5)×10⁻⁷Pa·m³/sec(入真空,23.0℃);不确定度±10%,加工公差±10% |
| 4 | 气室规格 | 160cc |
| 5 | 阀门特性 | 睿米®RMI-MDZV™零体积手动阀 - 呆体积:<0.1μL - 外漏:<1×10⁻¹¹atm.cc/sec - 内漏:<1×10⁻¹⁰atm.cc/sec(常规测试);<5×10⁻⁸atm.cc/sec(5bar 100%He测试) |
| 6 | 制作工艺 | - 核心技术:RMI-MTC™微通道毛细管、RMI-Metal™金属密封 - 环境耐受:抗震抗摔,无特殊运输/使用环境要求 - 压力耐受:支持400Bar高压反复冲击 - 温度范围:-20~65℃ - 漏率温度敏感性:无源-0.6%/℃,有源0.1%/℃ - 防堵塞性:优异,使用寿命长 |
| 7 | 出口连接 | VCR 1/4 male(转1/4卡套) |
| 8 | 漏率衰减 | - 持续打开状态:~10%/年 - 常规使用(300次×1小时/次):<2.0%/年(不使用时需关闭阀门) |
| 9 | 规格尺寸 | 280mm(长)×80mm(最宽) |
| 10 | 配套证书 | 默认:睿米®出厂检测证书;可选:第三方CNAS检测证书 |
三、核心优势
1. 零体积设计:系统零冲击+气体零损失
呆体积<0.1μL,阀门开关无高真空/RGA系统冲击(传统漏孔易宕机,需预抽真空);
10MPa压力下,每次开关仅损失0.01cc气体(传统漏孔损失10cc),100次开关仅损失1cc。
2. 高稳定性:漏率衰减小+环境适应性强
常规使用衰减<2.0%/年,远优于行业平均水平;
-20~65℃温度范围、400Bar高压冲击、抗震抗摔,无需特殊维护。
3. 高精度密封:内外漏率极低
外漏<1×10⁻¹¹atm.cc/sec;
内漏(常规测试)<1×10⁻¹⁰atm.cc/sec;
确保氘气无泄漏,保障实验/工艺精度。
四、适用场景
高真空/超高真空系统
如半导体制造中的真空腔体泄漏检测、真空设备校准,避免阀门开关干扰真空环境。
精密气体分析
四极质谱仪、RGA残余气体分析,零体积设计确保检测结果不受阀门开关干扰。
昂贵/特殊气体场景
氘气(D₂)等同位素气体、稀有气体(Kr、Xe),极低气体损耗降低使用成本。
大漏率需求场景
适配10⁻¹~10⁻⁸mbar.L/s漏率范围,满足工业级大漏率校准需求,漏率稳定性高。
五、定制服务
睿米支持基于本产品的延伸定制,覆盖气体类型、漏率、接头、气室等维度,具体如下:
| 定制类别 | 可选范围 |
|---|---|
| 气体类型 | 单一气体:Air、He、H₂、D₂、HD、N₂、O₂、Ar、Kr、Xe、Ne、CO₂、CO、CH₄、C₂H₆等 混合气体:按需定制组分比例(如1ppm Kr/Xe 余H₂)、同位素丰度(如特定D₂丰度) |
| 漏率范围 | 10⁻¹~10⁻⁸mbar.L/s(支持单一气体漏率、混合气体总漏率/分漏率定制) |
| 阀门类型 | 手动阀(MDZV™)、常闭气动阀(PSOZV™,适合自动化控制/昂贵气体)、隔膜阀等 |
| 气室规格 | 50cc、75cc、100cc、160cc、200cc、300cc、500cc、1000cc,或客户定制 |
| 接头类型 | 入口:NPT⅛/¼(内/外丝)、KF16/KF25、VCR¼、CF16等 出口:KF16/KF25、VCR¼、NPT¼外丝等,支持定制 |
| 校准与证书 | 单校准点/多校准点定制,第三方CNAS证书加持 |
定制周期:常规定制3~5天;需CNAS证书时,周期延长1周。
六、使用注意事项
1. 阀门操作:手柄顺时针旋转为关闭,逆时针旋转为打开;不使用时务必关闭阀门,减少漏率衰减和气体损耗。
2. 温度影响:标称漏率基于23.0℃环境,温度波动会导致漏率轻微变化(无源-0.6%/℃,有源0.1%/℃),建议在恒温环境中使用以保证精度。
3. 维护建议:无需频繁维护,若长期闲置,需关闭阀门并置于干燥、常温环境,避免剧烈碰撞。
七、证书与质量保障
1. 出厂检测:每台产品均通过睿米内部精密检测,附出厂检测报告,确保漏率、密封性等参数达标。
2. 第三方认证:可提供CNAS认可检测证书,满足计量溯源、行业合规要求。
3. 质量承诺:核心组件(微通道毛细管、金属密封件)使用寿命长,支持400Bar高压反复冲击,出现质量问题可联系售后处理。
八、联系我们
企业信息
公司名称:上海睿米仪器仪表有限公司(RealMeter Instruments (Shanghai))
公司地址:上海市浦东新区航头镇乐城路30-4号
咨询方式:如需定制、技术咨询或获取CNAS证书详情,可致电客服或发送邮件(联系方式可通过官网查询)。
温馨提示
若您在使用过程中遇到技术问题,或需要进一步了解产品细节,欢迎随时联系我们,睿米将为您提供专业的技术支持与服务。



