上海睿米仪器仪表有限公司
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LACO TitanTest™ T100M(15m3 /h Dry)
移动式大抽速高性能氦质谱检漏仪（订货号：TITAN100M-15D）
图1：LACO Titan T100M(15m3/h Dry) 大抽速移动式氦质谱检漏仪
一、技术规格
| 项目 | 描述 | |
| 可检测气体 | 4He, 3He, H2 | |
| 最小可检测漏率 | 真空法 | 4He： <5x10-13pa.m3/s（5x10-12mbar.L/s） |
| 3He： <5x10-11pa.m3/s（5x10-10mbar.L/s） | ||
| H2： <5x10-9pa.m3/s（5x10-8mbar.L/s） | ||
| 吸枪法 | 4He, 3He, H2: <x10-9pa.m3/s（5x10-8mbar.L/s） | |
| 独立吸枪接口（不占用真空口） | ||
| 检测模式 | Gross(粗检), Fine(精检), Ultra(超精检) | |
| 检测方法 | 真空(Vacuum)，吸枪(Sniff)，自动检测(Auto) | |
| 入口法兰 | KF25 | |
| 最大入口压力 | 25mbar | |
| 分子泵抽速 | 2.5l/s (SplitFlow 80) | |
| 前级泵抽速 | 15m3/h无油干式涡旋泵 | |
| 响应时间 | 真空（63% signal）：0.3s | |
| 吸枪（3m）：<1s | ||
| 自检 | 内置标准漏孔（NIST可跟踪证书），温度系数0.1%/℃，可忽略温度修正 | |
| 支持Gross, Fine, Ultra三种模式校准，确保测试精度 | ||
| 启动时间 | ≤3min | |
| 采样频率 | 20Hz | |
| 接口 | RS232 or RS485, Analog Output, Discrete I/O | |
| 工作温度 | 10℃ ~ 35℃ | |
| 工作电压 | 115/230 VAC, 50/60 Hz | |
| 重量 | 110kg | |
| 功耗 | 800W | |
| 尺寸(mm） | 长726 x437 x1010推车+主机 | |
二、特点(Key Features)
1）业界先进的全量程测量的精确性与一致性(演示视频)。
T100提供先进的全量程测量的精确性与一致性。
性能演示视频1(真空法，Vacuum)；LACO Titan T100业界先进的全量程测量的精确性与一致性
(8个标准漏孔,,E-12 ~E-5mbar.L/sec, 8个量级,全量程线性一致性和精确性检测极限测试)
性能演示视频2(吸枪法，Sniffer)；LACO Titan T100业界先进的全量程测量的精确性与一致性
(一组标准漏孔,,E-8 ~E-5mbar.L/sec, 4个量级,全量程线性一致性和精确性检测极限测试）
2）三种测试模式：Gross(粗检), Fine(精检), Ultra(超精检)
3）高入口压力：25mbar，快速进入检测
4）自检：T100内置NIST可跟踪证书的标准漏孔，温度补偿仅为0.1%/℃；支持在三种模式下（Gross, Fine, Ultra）自动校准确保每种模式下测量的准确性。
5）长寿命氧化钇涂层铱双离子源灯丝：3年质保
图2：配套设备-T100一揽子综合解决方案
三、应用领域(Application Scenarios)
◆科学研究： Electron microscopy – 电子显微镜 Mass spectrometry – 质谱 Surface analysis – 表面分析 Plasma monitoring – 等离子体监测 Residual gas analysis – 残余气体分析 ... ◆半导体 Lithography锂电池 PVD /CVD Plasma etching等离子刻蚀 MBE 分子束外延 … ◆镀膜 Hard disk coating – 硬盘镀膜 Photovoltaics – 光伏 Glass coating (PVD) – 玻璃镀膜 Optical coating (PVD) – 光学镀膜 Wear protection (PVD, CVD) –硬质涂层 Web coating – 卷绕镀膜 … | ◆工业 Medical technology – 医学技术 Industrial leak detection – 工业检漏 Electron beam welding – 电子束焊接 Lamp /tube manufacturing – 灯管制造 Automobile –汽车制造 Aerospace-航天航空 … ◆科学研究 Nuclear research – 核研究 Fusion technology – 聚变技术 Plasma research – 等离子研究 Nanotechnology – 纳米技术 Biotechnology – 生物技术 … |
四、常用订货号
| 项目 | 描述 | 订货号 |
| LACO TitanTest™ T100检漏仪 | ||
| T100 Wet便携式检漏仪 | T100便携式检漏仪，油式，45kg | TITAN100W |
| T100 Dry便携式检漏仪 | T100便携式检漏仪，无油干式，38kg | TITAN100D |
| T100M(16m³/h Wet)移动式检漏仪 | 主机模块+推车+16m³/h旋片泵，油式检漏仪 | TITAN100M-16W |
| T100M(30m³/h Wet)移动式检漏仪 | 主机模块+推车+30m³/h旋片泵，油式检漏仪 | TITAN100M-30W |
| T100M(15m³/h Dry)移动式检漏仪 | 主机模块+推车+15m³/h涡旋泵，无油干式检漏仪检漏仪 | TITAN100M-15D |
| T100M(30m³/h Dry)移动式检漏仪 | 主机模块+推车+30m³/h涡旋泵，无油干式检漏仪检漏仪 | TITAN100M-30D |
| 常用配件 | ||
| 有线控制模块（4m有线） | Wired Remote Control RC 800, 13 ft (4 m) Cable Included | TR100 |
| 无线控制模块（100m无线） | Wireless Remote Control RC 800 WL, Up to 330 ft (100 m) | TR101 |
| WIFI发射模块 | WiFi Adapter for TitanTest™ Communication Module | TCM-WIFI |
| 通信模块 | TitanTest™ Communication Module with Data Logging / Ethernet | TCM50 |
| 通信模块（加打印） | TitanTest™ Communication Module with Data Logging / Ethernet | TCM50-PT |
| 二维码扫描枪 | Barcode Reader for TitanTest™ Communication Module | TCM-BC |
| 3m吸枪 | Sniffer Probe - 10 ft (3 m) | LSP-01N-10 |
| 10m吸枪 | Sniffer Probe - 33 ft (10 m) | LSP-01N-33 |
| 3m增强吸枪（清零+显示） | Enhanced Sniffer Probe - 10 ft (3 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid Tip | T2003 |
| 10m增强吸枪（清零+显示） | Enhanced Sniffer Probe - 33 ft (10 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid Tip | T2010 |
| 喷枪(带620cc气瓶+减压阀） | Helium Spray Probe - 10 ft (3 m) Poly tube with Regulator and 620cc Reservoir | LHSP07 |
| 入口滤芯 | Inline NW25 Filter Housing with 40 Micron Sintered Bronze Element | LVF-E-NW25-40-10 |
| 内置校准漏孔 | Internal Helium Leak Standard for TitanTest™, Low 10-7 mbarL/sec | CM102492 |
| 外置校准漏孔-7 | External Helium Leak Standard, Low 10-7 mbarL/s NW25, Manual Valve | CM51L-71111V0/4 |
| 外置吸枪校准漏孔-4 | Sniffer Helium Leak Standard, 5 x 10-4 mbarL/sec, Pressure Gauge, Refill Valve | CM515.0-4102DAG/4 |
