上海睿米仪器仪表有限公司
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外置氦气标准漏孔E-3~E-12mbar.L/sec
(External Calibrated Leak Standards),
-校准氦质谱检漏仪的标准尺
雷科(LACO)标准漏孔介绍
1. 检漏仪是对比性测试仪器,判断其测量是否准确的标准尺就是标准漏孔。LACO标准漏孔均提供全球高等级之符合ISO17025美国计量局NIST A2LA检测证书,用于标定任何品牌的任何氦质谱检漏仪:LACO Titan, Inficon, Leybold, Pfeiffer Adixen, Varian, 中科科仪,皖仪…而且还可直接作为第三方标定和检测之依据。
图:一组雷科(LACO)标准漏孔
2. LACO是全球气体标准误产品的行业先进,其独家专有的通道型漏孔制作技术-微通道(Micro-Tube Capillary)业界先进,支持多种气体:
a) 一根毛细管,选取不同孔径和长度制作漏孔,抗震、抗摔、抗堵塞;传统渗透膜和玻璃拉丝、金属压扁工艺都非常脆弱,极容易损坏,寿命短。
b) 独家支持>400bar压力,为其他漏孔制作工艺的数十倍,年损耗仅为其他工艺的数十分之一。1E-5mbar.L/sec漏孔(300cc)年损耗仅1.0%,1E-4mbar.L/sec漏孔(1000cc)年损耗仅为3%。
c) 温度系数0.1%/℃,漏率基本不受环境温度变化影响,可忽略温度修正;传统玻璃渗透膜3~4%/℃,温度对漏率影响非常大,并且需要数小时稳定时间。
d) 支持各种气体各种接口各种漏率定制,支持同时指定漏率和压力定制;
3. 业界先进的全量程(E-2到E-12)一致性和准确,
参考演示视频:用14个LACO外置标准漏孔,覆盖E-4到E-10mba.L/s 7个量级,对一台氦质一组LACO标准漏孔演示视频
演示视频:一组雷科(LACO)标准漏孔对检漏仪标定
u 技术指标
1 | 漏率 (Leak Rate) | E-2~E-12mbar.L/sec 对每一个漏率量级: X:(1.0~9.9)任意值 L: 低位漏率,(1.0~3.9)任意值 M: 中位(4.0~6.9)任意值 或特定数值,如3.50 如客户指定数值,一般按照指定值±10%制作,如4.0E-8mbar.L/sec, 最终值落在3.6 到4.4 E-8mbar.L/sec的某一点。 客户也可以定制缩小漏率区间,如必须落在3.9 到4.1 E-8mbar.L/sec的某一点. 要求漏率越接近指定值,成本越高。 |
2 | 漏孔制作技术 (Leak Element) | 微通道技术(Micro-Tube Capillary) LACO微通道技术接近理想小孔,根据用户漏率需求选取不同孔径和长度制作漏孔,抗震、抗摔、抗堵塞,同时支持高压至450bar。 |
3 | 气体(Gas) | Helium (100%) |
4 | 校准点个数 (# of Cal Pts) | 1或n个 *≤1E-6 mbar.L/sec的漏孔建议只有1个较准点 *校准点个数不受限制,建议跨不超过3个量级, 如E-4~E-6或E-3~E-5。 |
5 | 气瓶规格 (Reservoir Style) | 115cc::~400PSI, 最佳适用:≤1E-6mbar.L/sec 150cc: ~1800PSI, 最佳适用:≤1E-5 mbar.L/sec 300cc: ~1800PSI, 最佳适用:≤5E-5 mbar.L/sec 1000cc: ~1800PSI, 最佳适用:>5E-5 mbar.L/sec |
6 | 预计年衰减 (Est. Depl. Rate) | 阀门常开状态下,典型值(漏率单位:mbar.L/sec): 漏孔1(≤1.0E-7,115cc): ≤0.1%/年 漏孔2(1.0E-6,115cc): ~1.0%/年 漏孔3(5.0E-6,150cc): ~1.0%/年 漏孔4(5.0E-6,150cc): ~1.0%/年 漏孔5(1.0E-5,150cc): ~2.0%/年 漏孔6(1.0E-5,300cc): ~1.0%/年 漏孔7(5.0E-5,300cc): ~5.0%/年 漏孔8(5.0E-5,1000cc): ~1.6%/年 漏孔9(1.0E-4,1000cc): ~3.0%/年 漏孔10(5.0E-4,1000cc): ~14%/年 漏孔11(1.0E-3,1000cc): ~27%/年 注:上述年衰减是基于阀门常开,对于大漏率带阀门的漏孔,阀门关闭,衰减率实际会少很多。 对于年衰减~1~2%的漏孔,无需补气. <1E-6mbar.L/sec漏孔,115cc气瓶可以做到年损耗<1%,无需补气; 其他规格气瓶都支持可重新补气 |
7 | 温度补偿 (Temp. coef.) | 0.1%/℃,无需根据温度对漏率进行修正。 其他如玻璃石英渗透膜漏孔为3%/℃,需根据温度进行漏率修正。 |
8 | 阀门 (Isolation Valve) | 无阀门,普通阀门,零流量阀门,气动阀门、电磁阀可选 零流量阀:一般阀门关闭,漏孔与阀门之间存在微小间隙,氦气会在间隙累积,打开阀门后,气体会瞬间释放。零流量阀门与漏孔间隙体积接近为0,关闭后气瓶气体基本不泄漏,适合高真空系统以及大漏率漏孔等。 |
9 | 接口 (Outlet Connection) | KF16/KF25/K40/KF50等可选 |
10 | 出口 (Outlet Pressure) | 真空或大气(正压法校准) *LACO漏孔为高压漏孔(小漏率E-7漏孔压力亦可>300PSI),泄漏到真空和到大气的漏率相差一般<1%, 真空校准漏孔亦做正压校准漏孔用。 |
11 | 压力表(gauge) | 一般用于多点校准漏孔,对应查找压力-漏率对应表 |
12 | 其他 | 所有漏孔出厂都带NIST证书 |
u 常用订货号
漏率量级 | 订货号 | 描述 |
E-4 | CM511.0-41161V0/4 | 漏率:1.0E-4; KF25,手动阀,1000cc,年漏约3.1% |
E-5 | CM51L-51121V0/4 | 漏率:1.0~3,9E-5, KF25,手动阀,300cc, 年漏约2% |
E-6 | CM51M-61141V0/4 | 漏率:4.0~6.9E-6, KF25,手动阀,150cc, 年漏约1.6% |
E-7 | CM51X-71111V0/4 | 漏率:E-7级, KF25,手动阀,115cc, 年漏约0.5% |
E-8 | CM51X-81111V0/4 | 漏率:E-8级, KF25,手动阀,115cc, 年漏约0.1% |
E-9 | CM51L-91111V0/4 | 漏率:1.0~3.9E-9,KF25,手动阀,115cc, 年漏<0.1% |
E-10 | CM31L-101111V0/4 | 漏率:1.0~3.9E-10, KF25,手动阀,115cc, 年漏<0.1% |
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u 为什么检漏仪要用外置标准漏孔标定
Ø 输入错误的内置漏孔漏率值,检漏仪自检时一般也能通过;说明检漏仪是对比性测试设备,检漏仪本身并不知道检漏信号对应的漏率是多少,必须要有参照物-标注漏孔来确定。
Ø 任何氦质谱检漏仪准不准,标准是对标准漏孔读值准不准,无其他标准。
Ø 任何检漏仪不承诺保证E~2到E-12的全量程一致性和精确性。检漏仪内置标准漏孔一般为E-7mbar.L/sec,自检通过,如内置漏孔为5.0E-7mbar.L/sec,并不能保证E-6或E-8或其他量级测量的准确性。
Ø 甚至E-7内置漏孔准确,并不能保证该检漏仪测量E-7量级就是准确的,因为内置漏孔连接检漏仪阀体的接口与检漏仪的捡漏口不是同一接口。一个1.5E-7的内置漏孔,如连接检漏仪阀体的接口存在5E-7的泄漏,自检时输入的漏率因为7.5E-7,但检漏仪仍然认为是1.5E-7;这就导致检漏仪自检通过但整个线性出现偏差和混乱。
Ø 事实上,经常出现检漏仪自检通过其他量程误差很大,甚至几个量级的都有。我们甚至发现有检漏仪,某几个量级准确了,另几个量级不准的情况,反之亦然。有兴趣的可以观看我们的视频。
Ø 正确的方法是针对产品的漏率要求,用接近的外置校准漏孔标定检漏仪。
睿米提供全球高等级之气体标准误产品及标准漏孔(可跟踪NIST A2LA证书),包括氦气标定漏孔(校准漏孔、标准漏孔)和其他气体标准误产品。我们的产品覆盖:
1) 气体:包括He,Air,Ar, N2,CO2,N2O,He3,R-12,R-22,H2,D2,SF6,Ne,Xe,R-134a, CH4, Kr,R-404a,R-290,C0,R-407c,R-410, NH3,Halon 1301…
2) 漏率,从E-0mbar.l/s ~ E-12 mbar.l/s,
3) 压力:-100Kpa ~ >40MPa
4) 接口:提供各种接口定制
5) 定制漏孔零活,可指定漏率或压力,或同时指定漏率和指定压力
6) 不同场合:全球各大厂家之氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪标定漏孔(外置、内置、吸枪);提供开放式标准误产品(连接在线气瓶)以及根据客户要求提供定制产品(用于工业、实验室、研究院所产品集成)
相关参考资料:
2. LACO标准漏孔证书样张(全球高等级之符合ISO17025标准的美国计量局NIST AL2LA证书)
4. 标准漏孔大全:有源标准漏孔(带气源标准漏孔),无源标准漏孔(开放式标准漏孔),支持各种气体,支持同时指定漏率与压力,高压漏孔(40Mpa),冷媒漏孔,氢气漏孔,可调式漏孔…
5. LACO标准漏孔介绍-上海睿米20180130.pdf
演示视频:
1 | 标准漏孔系列演示视频:E-5~E-12mbar.L/sec, 8个不同漏率量级 | 视频播放: http://v.youku.com/v_show/id_XMzE1Njg5Njg3Ng==.html?firsttime=48 | 网盘下载: |
2 | 正压(吸枪模式,Sniffer模式)标准漏孔演示视频:E-5~E-8mbar.L/sec, 4个不同漏率量级 | 视频播放:http://v.youku.com/v_show/id_XMzI4MzA2MjMzNg==.html?firsttime=8 |