上海睿米仪器仪表有限公司
地 址：上海.浦东.航头镇.乐城路30弄4号（201317）
电 话：021-58220307
传 真：021-68539811
邮 箱：contact@realmeter.cn
联系人：13601764364（谢先生）
网 址：www.realmeter.cn
文件下载：
睿米®RM5C12 正十二烷（n-C₁₂H₂₆）标准漏孔系列 技术规格书.pdf
1.1 睿米 RM5C12 系列标准漏孔是专为半导体（尤其是EUV光刻）、超高真空（UHV）及精密计量领域设计的参考标准源。该产品采用微通道毛细管流导技术，能够提供稳定、可溯源的 正十二烷 (n-C₁₂H₂₆) 分子流。
针对重碳氢化合物（HHC）在真空系统中极难定量的问题，本产品通过**质量损失法（Mass-loss Method）**直接标定，不确定度优于 ±5%，是目前行业内建立RGA（残余气体分析仪）“量化标尺”、管控EUV光学系统碳沉积污染的核心基准器具 。
1.2 历史突破与行业意义 (Historical Breakthrough)
本产品的发布具有里程碑式的行业意义：
全球首创液态介质标准： 睿米是行业内首家成功攻克低蒸气压液态介质（正十二烷）微纳流控难题，并实现商业化量产的厂商，填补了全球真空计量领域的空白
重新定义RGA分析： 历史上，RGA（残余气体分析仪）对有机污染只能进行“定性趋势”判断。RM5C12系列的问世，首次实现了对RGA有机物分析的“绝对定量”
RMI-PSOZV™ 零死体积气动阀： 采用上海睿米®的“正向截止零死体积”设计，消除阀后死体积（<0.1μL），防止液态介质积聚导致开启瞬间信号过载（Burst），保护昂贵的质谱仪灯丝
RMI-MTC™微通道流控技术： 相比传统薄膜渗透，微通道结构在输送低蒸气压液体（正十二烷蒸气压仅~13Pa）时具备更优异的长期稳定性
可溯源精度： 采用质量法直接标定，溯源至SI国际单位制（质量），校准不确定度±5%。
高纯介质： 预装高纯度正十二烷 (C₁₂H₂₆)，化学惰性强，无二次污染风险
| 参数项 (Parameter) | 规格数值 (Specification) | 备注 (Note) |
| 典型型号 | RM5C123.0-6Pa | |
| 介质 | 正十二烷（n-C₁₂H₂₆） | |
| 标称漏率 (Nominal Leak Rate) | 3.0x10^-6pa.m3/sec | @ 23°C |
| 定制范围 | 1x10^-4 ~ 1x10^-10 pa.m3/sec | 可按需定制 |
| 校准方法 | 质量损失法 (Gravimetric Method) | |
| 校准不确定度 | ||
| 制造公差 | ±30% | |
| 温度系数 | 约 12% / °C (指数变化) | 需温度修正 |
| 出口端压力 | 真空 <0.1pa | |
| 储液量寿命 | 典型值>10年 | 视具体漏率而定 |
4. 机械与接口参数 (Mechanical & Interface)
真空接口： 标配 VCR 1/4" Male（阳头）；可选配 VCR 转 CF35/CF40 转接件
驱动方式： 压缩空气驱动（0.4 - 0.6 MPa），常闭型（NC） 。
外形尺寸：
最大高度：235 mm
最大宽度：100 mm
材质： 半导体PE级316L 不锈钢
由于正十二烷的物理特性（低蒸气压、易吸附），请严格遵守以下操作规范：
预抽时间 (Warm-up Time)：
首次安装/破真空后： 建议预抽 2小时 以上，直至本底稳定 。
日常使用： 在维持真空的情况下，预抽 10分钟 即可进行校准 。
温度控制：
产品对温度极其敏感（~12%/°C）。务必在恒温环境（变化 ±0.5℃/hour）下使用，或严格按照校准证书提供的公式进行数学修正
安装方向：
必须垂直安装，储液室在下，阀门在上。严禁倾倒或倒置，防止液态介质直接流入真空室 。
阀门操作：
开启顺序：
→①先抽真空至 <0.1 Pa
→②打开上面阀门（PSOZV™阀）
→③打开下面气动阀
关闭顺序：
→①关闭下面气动阀，延时5分钟
→②关闭上面阀门（PSOZV™阀）
EUV光刻机污染管控： 建立HHC（重碳氢化合物）的绝对量化基准，设定Process Window
半导体PVD/CVD制程： 监控真空泵返油（Back-streaming）及腔体洁净度 。
RGA原位校准：计算离子源对高分子量有机物的响应因子（Response Factor） 。
材料放气研究：光刻胶、密封胶等材料在真空下的出气率（Outgassing rate）定量评估
附录：标准漏孔制作难度等级：
1. 入门级：氦气（He）漏孔
工艺技术：透石英 / 薄膜渗氦工艺 /玻璃拉丝/金属压扁等传统工艺，先进的如睿米的RMI-MTC™微通道工艺。
特点： 传统技术非常成熟，是目前市面上最常见的标准漏孔，几乎所有漏孔厂商都能生产。
状态： 属于真空检漏的“标配”产品。
工艺技术：机械压握 / 金属毛细管工艺 。先进的如睿米的RMI-MTC™微通道工艺。
特点： 需要精密的机械加工能力来控制流导。相比氦气漏孔，其制造对机械结构的精度要求更高。
状态： 能够生产此类漏孔的厂商相对较少，属于“专业级”产品。
工艺技术： 微纳流控 + 特殊表面钝化处理
核心难点：
吸附性强：水分子极易吸附在管壁上（“粘人”），导致输出不稳定。
相变复杂： 极难精确控制其气液相变和流量，被称为真空计量领域的“头号难题” 。
状态： 属于行业技术瓶颈，全球仅极少数厂商（如睿米）能提供成熟的商业化产品，是名副其实的“物理极限”挑战 。
4. 极客级（工业极限）—— 正十二烷（C₁₂H₂₆）漏孔， PFTBA，十四烷、十六烷等。
正十二烷漏孔可以被视为**“液态介质漏孔的另一座高峰”**。
难度： 它不仅具有液态介质的控制难题，还因其极低的饱和蒸气压（常温下仅~13Pa）和大分子特性，对微通道的流导控制提出了比水更苛刻的要求（微纳加工极限）
睿米®液态介质标准漏孔系列: PFTBA, 正十二、四、六烷，DMC, H2O，...
参考：
