上海睿米仪器仪表有限公司
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上海睿米仪器仪表有限公司核心产品 | 呆体积<0.1μL | 零气体损失 | 零系统冲击 | 低漏率衰减
上海睿米仪器仪表有限公司（RealMeter Instruments(Shanghai)）推出的RMI-PSOZV™（零体积常闭气动阀）与RMI-MDZV™（零体积手动阀）系列标准漏孔，主打“掌握核心科技，助力中国高端智造”，以“零体积、零冲击、低衰减”为核心竞争力，广泛应用于超高真空、半导体、四极质谱/RGA残余气体分析、昂贵气体节省等场景。
核心优势：呆体积<0.1μL，气体损失降低99%+，零系统冲击
气体支持：单一气体（H₂/He/D₂等）、同位素混气（Xe-132/Kr-84等）
漏率范围：10⁺¹~10⁻⁹ mbar.L/s（公差±10%）
压力范围：0.1Pa~40MPa
定制周期：常见气体1周，稀有/混气1~2周（到货后）
| 产品型号 | 阀门类型 | 操作方式 | 核心特性 | 典型适配场景 |
|---|---|---|---|---|
| RMI-PSOZV™ | 零体积常闭气动阀 | 气动控制（4-6bar压缩空气） | 主动规避忘关阀门的气体损失，近似零自然衰减，适合自动化控制 | 昂贵气体（Xe-132/Kr-84/He³）、自动化生产线 |
| RMI-MDZV™ | 零体积手动阀 | 手动开关 | 结构简洁，操作直接，气体损失低，对系统无冲击 | 手动操作场景、常规气体（O₂/D₂）应用 |
采用RMI-MTC™微通道毛细管工艺和RMI-Metal™金属密封技术，确保产品抗震抗摔、防堵塞，支持400Bar高压反复冲击，使用寿命长。
气体损失：充气压力10MPa时，传统漏孔单次开关损失10cc，睿米产品开关100次仅损失1cc，实现“接近零损失”；
系统冲击：阀门打开时释放气体量极小，无需预抽真空，避免高真空/RGA系统宕机。
自然衰减：普遍<0.2%/年，特殊型号（如Xe-132/Kr-84混气漏孔）<0.1%/年；
使用衰减：多数型号<3%/年（如60次×30分钟使用），部分型号<1%/年（如20次×2小时使用）。
| 参数类别 | 具体参数值 |
|---|---|
| 气体兼容性 | 单一气体：Air、H₂、He、D₂、N₂、O₂、Ar、Kr、Xe、Ne、CO、CO₂、CH₄、C₂H₆等； 混气：含同位素（Xe-132≥94%atom、Kr-84≥56%atom）及自定义比例混气 |
| 漏率范围 | 10⁺¹~10⁻⁹ mbar.L/s（制作公差±10%），支持定制特定漏率（如5.0×10⁻⁴ Pa·m³/s） |
| 压力范围 | 0.1Pa~40MPa（充气压力最高100bar，如He漏孔气室压力100bar） |
| 温度性能 | 工作温度：-20℃~+65℃； 温度系数：0.1%/℃（无源型号-0.6%/℃） |
| 气室规格 | 常规50cc~1000cc（150cc、160cc、1000cc），支持定制 |
| 接头类型 | VCR ¼ Male、NPT ¼外丝、NPT ⅛外丝、KF25、KF16、CF16等，支持定制 |
| 密封性能 | 内漏<1×10⁻¹⁰ atm.cc/sec，外漏<1×10⁻¹⁰ atm.cc/sec（常规测试） |
| 产品类型 | 订货号 | 气体组份 | 漏率（公差±10%） | 阀门类型 | 气室/压力 | 核心特点 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 混气漏孔 | RM531.1-51445V0/6/95T | H₂/He/N₂/Kr/Xe各1%，余95%Ar | 1.10×10⁻⁴ torr.L/s | PSOZV™ | 150cc/20bar | 气动常闭，零冲击，适合RGA分析 |
| 同位素混气漏孔 | RM5X3.0-61465V0/6/20P | Xe-132(94%atom)/Kr-84(56%atom)/Ar/N₂/He各20% | N₂分漏率3.0-6.0×10⁻⁶ Pa·m³/s，总漏率1.5-3.0×10⁻⁵ Pa·m³/s | PSOZV™ | 1000cc/20bar | 自然衰减<0.1%/年，节省同位素气体 |
| He单一气体漏孔 | RM515.0-4146DA0/6 | 100%He | 5.0×10⁻⁴ Pa·m³/s | PSOZV™ | 1000cc/100bar | 3~5年无需补气，维护成本低 |
| H₂单一气体漏孔 | RM5C5.0-514E5V0/4/1-7 | 100%H₂ | 5.0×10⁻⁵ mbar.L/s（1bar下） | PSOZV™ | -/1bar | 双端VCR接头，漏率-压力曲线精准 |
| D₂单一气体漏孔 | RM5DL-6154JVG/6 | 100%D₂（氘气） | 1~2×10⁻⁶ Pa·m³/s | MDZV™ | 160cc/1MPa | 手动阀，内漏<5×10⁻¹⁰ atm.cc/sec |
| 定制项目 | 定制说明 | 定制周期 |
|---|---|---|
| 气体定制 | 单一气体（常见/稀有）、混气比例（含同位素丰度，如1ppm Kr/Xe余N₂） | 常见气体1周，稀有/混气到货后1~2周 |
| 漏率定制 | 10⁺¹~10⁻⁹ mbar.L/s范围内任意漏率，提供压力-漏率对应曲线 | 同气体定制周期 |
| 规格定制 | 气室规格（50cc~1000cc或定制）、接头类型（如吸枪适配口）、压力表配置 | 同气体定制周期 |
检测证书：默认提供出厂检测证书，可选配第三方CNAS检测证书，确保漏率及性能符合标准；
结构可靠性：采用全金属结构，结合RMI-MTC™和RMI-Metal™技术，具备抗震抗摔特性，对运输和使用环境无特殊要求。
零冲击原理：呆体积是漏孔阀门内部的残余空间，睿米漏孔通过RMI-MTC™微通道毛细管和RMI-Metal™金属密封技术，将呆体积控制在0.098μL（<0.1μL）；阀门打开时，残余空间内累积的气体量极小（仅0.1μL×压力），瞬间释放的气体不会破坏高真空系统的真空度，无需预抽真空，实现“零冲击”。
对比传统漏孔优势：传统漏孔呆体积普遍为0.1~1cc，10MPa充气压力下单次开关损失10cc气体，且易导致系统宕机；睿米漏孔同等压力下开关100次仅损失1cc，无宕机风险，同时减少昂贵气体浪费。
混气定制能力：完全支持混气定制，可调整比例（ppm级~百分比级），且支持同位素气体定制（需明确种类及丰度，如Xe-132≥94%atom、Kr-84≥56%atom）。
典型示例1：订货号RM531.1-51445V0/6/95T，组份H₂/He/N₂/Kr/Xe各1%+95%Ar，漏率1.10×10⁻⁴ torr.L/s，气动阀，适用于RGA残余气体分析、四极质谱校准；
典型示例2：订货号RM545.0-61445V0/6/99.9998T，组份1ppm Kr/Xe+99.9998%N₂，漏率5.0×10⁻⁶ Pa·m³/s，适用于低浓度稀有气体检测，自然衰减<0.2%/年。
核心区别：
| 对比维度 | RMI-PSOZV™（气动阀） | RMI-MDZV™（手动阀） |
|---|---|---|
| 操作方式 | 气动控制（4-6bar压缩空气） | 手动开关 |
| 气体保护 | 常闭设计，规避忘关损失 | 依赖人工关闭 |
| 适配场景 | 自动化生产线、昂贵气体 | 手动操作、常规气体 |
| 自然衰减 | 部分型号<0.1%/年 | <0.2%/年 |
选型建议：
自动化控制（如半导体生产线）、使用昂贵同位素气体（Xe-132/Kr-84）、减少人工失误：选RMI-PSOZV™；
手动操作（如实验室校准）、常规气体（O₂/N₂/Ar）、成本敏感：选RMI-MDZV™。
