深圳睿米®RGA全谱图混气标准漏孔：RM531.1-41445V0/TL/95T

所属分类：深圳零体积阀标准漏孔
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发布日期：2026/01/31
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睿米®全谱图混气标准漏孔：RM531.1-41445V0/TL/95T

2026年1月31日 13:23

RM531.1-51445V0/TL/95T是上海睿米®（RealMeter Instruments）生产的一款混气标准漏孔（Mixed Gas Calibrated Leak Standards），专为高端真空实验室和半导体制造设计的专业级标定工具。

支持全谱图标定：6种气体组份H2|He|N2|Ar|Kr|Xe, 覆盖从 2 到 132 amu，用于校准 RGA 的质量轴线性度及相对灵敏度。其亮点在于将“复杂混合气”与“零体积气动控制”结合，解决 RGA 在线标定时最怕的“压力波动”和“读数漂移”问题。产品性能指标优于国际先进水平。

一、详细技术参数表

分类	参数项目	详细数值 / 规格	技术注释与应用建议
基础身份	订货号 (P/N)	RM531.1-51445V0/6/95T
	漏率 (Rate)	1.1x10^-4 torr.L/sec	指气体进入真空室的标称流量，是 RGA 定量标定的基准。
气体组份	混合气配比	1%H2+1%He+ 1%N2+1%Kr+1%Xe+95%Ar	全谱图标定：覆盖从 2 到 132 amu，用于校准 RGA 的质量轴线性度及相对灵敏度。
核心控制	阀门类型	RMI-PSOZV™ 零体积常闭气动阀	睿米zhuanli技术，专门针对高真空系统设计的精密开关。
	呆体积 (Dead Vol)	<0.1μL	零冲击设计：消除开启瞬间的压力脉冲，防止 RGA 灯丝或倍增器因过压保护。
	密封性 (Leakage)	内/外漏率均 < 1 10^-10atm.cc/sec	极高的真空密封等级，确保在关闭状态下不污染系统环境。
	气动驱动	4-6Bar(驱动气压)	物理接口：M5 内丝转4/6mm快拧，适配压缩空气气管。
结构参数	气室/充气压力	150cc/20bar	高压储气设计，即便多年使用后，内部压力下降对流量的偏差影响也微乎其微。
	出口连接	VCR 1/4 Male (公头)	半导体行业标准接口，全金属密封，避免橡胶密封圈的放气干扰。
	规格尺寸	290mm长 x 120mm最宽	安装时需考虑预留气动管路和 VCR 连接件的操作空间。
工艺与环境	制作工艺	RMI-MTC™ 微通道 / RMI-Metal™ 金属密封	这种工艺结构极其坚固，且具有优秀的抗震抗摔能力。
	温度系数	0.1%/℃	极低温漂，如温差变化10℃，漏率仅变化1%，保证了标定的精确度。
	工作温度	-20℃~65℃	覆盖了从极地科研到 FAB 高温机台的所有应用场景。
寿命周期	自然衰减	< 0.2%/年	静置存放时的漏率损耗，体现了气室内壁及阀座极高的密封水平。
	使用衰减	< 3%/年，年使用60次x30分钟	高频使用下的动态衰减，建议在控制系统中按此比例进行年度流量修正。
合规性	证书支持	出厂检测证书 / 第三方检测证书	确保量值溯源性，满足半导体产线 ISO 认证要求。

二、技术亮点深度分析

1. RMI-PSOZV™ 零体积极简常闭气动阀

零死体积（<0.1 µL）：传统的阀门在开关瞬间会残留或释放一部分气体，产生“压力脉冲”。这款阀门几乎消除了死体积，确保气体释放过程极其平稳。

非冲击设计：保护高灵敏度的 RGA 质谱探头，避免开启瞬间的气压波动造成“压强冲击”导致质谱仪关机或损坏。

极低内外漏：内漏和外漏指标均优于 1x10-10atm.cc/sec，保证了标准气体的纯净度和流量的绝对准确性。

2. RMI-MTC™ 微通道毛细管技术

物理特性：不同于传统的压扁金属管或多孔陶瓷，微通道毛细管提供的流动更接近分子流/粘滞流的稳定状态。

极低衰减：自然衰减率<0.2%/年。对于含有多种昂贵或稀有气体（如氪、氙）的混合气来说，极低的自然损耗意味着超长的校准周期和极高的使用寿命。

3. RMI-Metal™ 金属密封工艺

全金属密封：放弃了传统的橡胶或聚合物密封，采用全金属密封技术。这使得漏孔本身具有极佳的抗震抗摔性，并且在 -20℃~+65℃ 的宽温范围内保持极低的温度系数（0.1%/°C）。

高洁净度：避免了有机物放气（Outgassing）对质谱背景信号的干扰。

4. 多组分精确配比

该漏孔将H2|He|N2|Kr|Xe分别精确控制在1%左右，余量为Ar(95%)。这种配比覆盖了真空系统中最常见的背景气和重气体，一次注入即可完成全谱图校准，效率极高。

三、应用场景

场景一：半导体产线自动标定 (Automatic Calibration)

1. 共同核心：利用 PSOZV™ 零体积阀

两款系统在产线端最怕的是压力瞬变。

操作建议：利用睿米漏孔的零体积特性，直接将气动信号接入厂务 CDA 或 PLC。设定在腔体抽至本底真空（Base Vacuum）后开启 15 秒，作为 RGA 的“开机体检”。

2. Inficon 专享建议

一致性控制：Inficon 系统的稳定性极佳，建议将其作为标准件管理。如果连续三个批次的标定气体强度偏差 10%，则判定为离子源污染，提前安排停机维护。

3. MKS 专享建议

智能动态补偿：MKS 软件灵活性高。您可以设定：如果标定气信号减弱，软件自动调高 EM 电压，实现“自动对标”，从而延长设备在线服役时间。

场景二：科研实验室日常维护 (Lab Maintenance)

1. 质量轴（Mass Scale）的深度标定

由于混合气体中含有H2、He、N2、Ar、Kr、Xe：

Inficon：使用内置的Calibration Wizard，依次选取氢气和氙气峰，实现两点锁定。

MKS：在Calibration Profile中手动定义这六个特征峰，观察峰形的对称性（Symmetry），这能反映出四极杆是否存在电磁干扰。

2. 相对灵敏度因子 (RSF) 的实测

操作习惯：不要直接套用软件自带的 Gas Library。

方法：开启漏孔，记录六种气体的离子电流。根据标签上各组分约 $1%$ 的比例，计算出针对您这台特定 RGA 的感应系数。这在分析“未知泄漏成分”时，能让您的定量结果从“大概齐”变成“精准定值”。

⚠️ 专家级使用提示 (Tips)

两种场景通用的技术建议

1. 消除“本底”干扰

在使用前，建议先对连接管道进行充分抽气。虽然阀门是零体积设计，但 VCR 接口与阀座之间的极小间隙仍可能残留空气。建议开启/关闭3-5 次进行脉冲清洗（Pulse Flush），使标定数据更纯净。

2. 温度补偿

由于标签标明温度系数为0.1%/°C，如果您的实验室或厂房夏季与冬季温差达到10℃，漏率会产生1% 的波动。对于高精度科研，建议在计算时带入实时环境温度进行修正：

3. 安装位置

务必将漏孔安装在靠近 RGA 离子源的位置，且尽量避开主泵抽口。这样可以确保漏出的混合气能充分进入质谱分析区，而不是直接被分子泵抽走，从而提高信噪比。

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