上海睿米仪器仪表有限公司
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自研核心工艺
密封性能 <1×10⁻¹⁵ atm·cc/sec,比传统密封(10⁻⁹ atm·cc/sec)提升 5~6个数量级,解决了气体渗透和吸附问题。
孔径范围 50nm~500μm,接近理想圆管,遵循流导规律,漏率无方向性(传统工艺存在方向性)。
支持 全气体类型(He、H₂、D₂、Ar、Kr、冷媒等)、全漏率量程(10⁻¹³至10² Pam³/s)、全压力范围(0.1Pa~40MPa)。
超强耐受性:抗40MPa高压冲击、抗震抗摔(1.2米跌落测试通过)、防堵塞、工作温度 -20℃~65℃(传统漏孔仅支持常温)。
RMI-MTCTM微通道毛细管技术(文档6、7):
RMI-MetalTM金属密封工艺(文档6):
零体积阀门技术(文档6、7、16、27):
呆体积 <0.1μL(传统阀门为0.1~1cc),阀门开关气体损失接近零,对高真空系统零冲击。
适用于同位素气体(如Xe、Kr)和自动化场景,年衰减率<1%(传统阀门年衰减>5%)。
RMI-MZVTM(手动阀) 和 RMI-PSOZVTM(常闭气动阀):
算法与定制能力(文档6):
RMI-CalTM仿真算法:通过流导模拟实现漏率精确定制(公差±10%/±5%),交付周期仅3~5天(行业平均需数周)。
指标 | 睿米标准漏孔 | 传统漏孔 |
---|---|---|
温度系数 | 无源:-0.6%/℃;有源:0.1%/℃ | 通常>1%/℃ |
工作温度 | -20℃~65℃(支持极速冷冻) | 常温(0℃~40℃) |
抗震抗摔 | 1.2米跌落5次通过(文档1、8、14) | 易碎(玻璃/金属压扁工艺) |
高压耐受 | 400Bar反复冲击(文档6) | ≤2Bar |
最小漏率 | 10⁻¹³ Pam³/s(通道型,全球首创) | 10⁻⁷ Pam³/s(极限) |
衰减率 | 有源漏率年衰减<0.1%(文档22) | 年衰减>5% |
全场景覆盖:
无源漏孔(外接气源):开放型设计,支持真空/正压检测(文档1、3、12)。
有源漏孔(自带气室):集成储气罐、阀门,用于质谱仪校准(文档5、7、22)。
特种气体:H₂、D₂、Kr/Xe同位素、5%H₂/95%N₂混气(文档11、16)、冷媒(文档23)。
全量程覆盖(文档6性能表):
氦漏率范围:5×10⁻¹³ ~ 100 mbar·L/sec(横跨12个数量级)。
正压漏孔:支持吸枪累积法检测(文档15、27)。
接口兼容性(文档1、9):
提供 G1/4、NPT、VCR、KF、10-32UNF 等20+种接口,一体化设计杜绝泄漏。
军工级标准(文档18):
参与起草 JJG(军工)165-2024《真空标准漏孔检定规程》,技术指标成为行业基准。
高端客户应用:
比亚迪(文档8、9、14)、INFICON LDS3000(文档7)、动力电池包检测(文档27)等头部企业指定供应商。
认证体系:
全系提供 CNAS检测报告/国防二级计量证书(文档5、22),漏率不确定度达±3.4%(行业平均±10%)。
特性 | 睿米微通道毛细管 | 传统工艺(玻璃/金属压扁) |
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结构 | 一体化设计,无胶水/螺纹 | 拼接结构,易泄漏 |
漏率一致性 | 遵循流导公式,精度±5% | 孔径不均,漏率波动大 |
寿命 | >5年(抗堵塞、抗形变) | 易堵塞/蠕变,工业场景寿命短 |
定制灵活性 | 3~5天交付±10%公差 | 依赖经验,交付周期数周 |
睿米标准漏孔的技术含量处于全球领先水平,核心优势在于:
颠覆性工艺(微通道毛细管+金属密封+零体积阀);
全场景、全量程、全气体覆盖能力;
军工级可靠性和权威认证背书。
其技术文档的系统性和深度在业内罕见,印证了“掌握核心科技”的定位,远超同类厂商的零散产品手册。 对于高精度检漏需求(如半导体、新能源、航天),睿米是极少数能提供完整解决方案的供应商。