上海睿米仪器仪表有限公司
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对比维度：工艺原理｜性能极限｜可靠性｜场景适配性
| 特性 | 睿米 RMI-MTC™ 微通道工艺 | 传统玻璃拉丝工艺 | 传统金属压扁工艺 |
|---|---|---|---|
| 核心原理 | 激光精密加工理想圆管流道 | 玻璃与铂丝熔结形成随机缝隙 | 金属反复压扁形成不规则微孔 |
| 流道结构 | 孔径50nm~500μm，圆度>99% | 缝隙宽度不均，形状不可控 | 孔道扁平，截面积波动>20% |
| 密封方式 | 全金属熔融一体化（零胶水/螺纹） | 玻璃-金属热膨胀失配易开裂 | 压接面微泄漏风险高 |
| 工艺可控性 | 可精确计算 | 依赖工人经验，一致性差 | 机械压制，重复性低 |
| 参数 | **RMI-MTC™** | 玻璃拉丝 | 金属压扁 |
|---|---|---|---|
| 最小漏率 | 5×10⁻¹³ Pam³/s（He） | 极限1×10⁻8 Pam³/s | 极限1×10⁻⁵ Pam³/s |
| 最大耐压 | 40MPa（无源型） | 1MPa破裂 | 2MPa变形 |
| 温度范围 | -20℃~65℃，漏率波动<5% | 15~30℃（超温即失效） | 0~50℃（高温蠕变） |
| 漏率方向性 | 双向偏差<1% | 正反向差异>10% | 非线性流导，差异>15% |
| 气体兼容性 | 全气体支持（H₂/He/D₂/冷媒/液体） | 全气体支持（H₂/He/D₂/冷媒/液体） | 全气体支持（H₂/He/D₂/冷媒/液体） |
| 测试项目 | RMI-MTC™结果 | 传统工艺表现 |
|---|---|---|
| 抗震性 | 1.2米跌落5次无损伤（IEC 60068-2-32） | 玻璃：碎裂；金属：堵塞 |
| 高压循环 | 40MPa 1000次冲击，漏率漂移<0.5% | 金属压扁：2MPa 10次即漏率失效 |
| 低温存储 | -30℃冷冻48h，性能不变 | 玻璃：-10℃开裂 |
| 寿命周期 | **>10年**（年衰减<0.1%） | 1~2年需更换 |
markdownmarkdown复制传统玻璃拉丝工艺 │ ├── 玻璃管加热软化 ├── 铂金丝插入拉伸 → 形成不规则缝隙（尺寸不可控） └── 冷却后玻璃-铂金热膨胀差异 → 微裂纹风险 传统金属压扁工艺 │ ├── 金属棒钻孔（Ø0.1~0.5mm） ├── 液压机反复压扁 → 孔道变形为扁平椭圆（截面积波动） └── 压接面微泄漏（密封胶老化） 睿米RMI-MTC™工艺 │ ├── 特种合金基材激光钻孔（孔径50nm~500μm） ├── 电解抛光 → 流道圆度>99%，粗糙度Ra<0.1μm └── 全金属熔融封装 → 零泄漏一体化结构
睿米 RMI-MTC™ 微通道工艺 通过 理想流道结构+全金属一体化，解决了传统工艺三大本质缺陷：
精度缺陷：纳米级流道控制 vs. 随机缝隙/压扁变形；
可靠性缺陷：军工级抗震耐压 vs. 易碎/蠕变；
场景缺陷：全气体/全温区覆盖 vs. 有限气体支持。
其工艺代差直接推动检漏工具从“经验型耗材”升级为“高精度传感器”。
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注：本对比文档内容均基于睿米官方技术手册，传统工艺数据源于行业公开测试报告。
