氦质谱检漏灵敏度分析

发布日期：2016-09-09 15:03 来源：http://www.realmeter.cn 点击：

　　采用氦质谱真空检漏对真空泄漏率要求较高的大容器检漏时检漏灵敏度的高低是衡量检漏结果精确与否的重要指标之一。“要充分发挥检漏仪的能力，以求得尽可能高的检漏灵敏度。必须对辅助真空系统进行合理设计。”通过对检漏灵敏度的分析确定检漏仪在真空系统中的连接方式，可以达到检漏目的的连接方式有两种。

　　检漏仪接在前级泵侧：检漏仪接在前级一侧时，令前级泵对氦气的抽速为6,次级泵对氦气的抽速为6%。检漏仪支路对氦气的抽速为6X，系统检漏灵敏度的变化。

　　检漏仪接在高真空一侧时：检漏灵敏度的变化，检漏仪接在高真空一侧通过对检漏仪的调节，能使其在高真空侧和前级侧时对氦气的抽速6X 保持一致。系统参数一般不变。可看出的高低取决于6和6% 的大小在分流状态。有6%在次级泵起动进入稳定状态后，一般可将前级泵处节流阀关闭。即由此可知，此时相同条件下次级泵处阀门却不能完全断开，即比较在需对大容器抽高真空并要求检漏时，检漏仪接在前级侧时的系统检漏灵敏度高于接在高真空侧的检漏灵敏度。