上海睿米仪器仪表有限公司
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A200便携式氦质谱检漏仪
（ 灵敏度高、操作便捷、低维护）
A200便携式氦质谱检漏仪广泛应用于科研院所、航空航天、动力锂电池，阀门、精密仪表、机械加工、电力、电厂、光伏、真空镀膜、真空热处理等。
A200支持正压检漏，负压检漏，自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果，优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应，高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦，支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底，机器卓越的性能支持7*24小时长时间在线测试，机器卓越的性能支持几秒一次的高频率测试，配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤，双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击，支持定制检漏工作台，更加便捷使用。
图1：A200便携式氦质谱检漏仪
一、技术规格
项目 | 描述 | |
可检测气体 | 4He | |
最小可检测漏率 | 真空法 | <5x10-13pa.m3/s（5x10-12mbar.L/s） |
吸枪法 | <1x10-8pa.m3/s（1x10-7mbar.L/s） | |
检测模式 | Gross(粗检), Fine(精检), Ultra(超精检) | |
检测方法 | 真空(Vacuum)，吸枪(Sniff) | |
入口法兰 | KF25 | |
最大入口压力 | 粗检：15mbar 精检：2mbar 超精检：0.4mbar | |
分子泵抽速 | 2.5l/s (SplitFlow 80) | |
前级泵抽速 | 1.8m³/h旋片泵，内置 | |
响应时间 | 真空（63% signal）：1s 吸枪（3m）：<1s | |
自检 | 支持，内置漏孔,带证书 | |
工作温度 | 10℃ ~ 40℃ | |
工作电压 | 115/230 VAC, 50/60 Hz | |
重量 | 45kg | |
功耗 | 400W | |
尺寸(mm） | 长523 x宽510 x高297 | |
二、应用领域(Application Scenarios)
◆科学研究： Electron microscopy – 电子显微镜 Mass spectrometry – 质谱 Surface analysis – 表面分析 Plasma monitoring – 等离子体监测 Residual gas analysis – 残余气体分析 ... ◆半导体 Lithography锂电池 PVD /CVD Plasma etching等离子刻蚀 MBE 分子束外延 … ◆镀膜 Hard disk coating – 硬盘镀膜 Photovoltaics – 光伏 Glass coating (PVD) – 玻璃镀膜 Optical coating (PVD) – 光学镀膜 Wear protection (PVD, CVD) –硬质涂层 Web coating – 卷绕镀膜 … | ◆工业 Medical technology – 医学技术 Industrial leak detection – 工业检漏 Electron beam welding – 电子束焊接 Lamp /tube manufacturing – 灯管制造 Automobile –汽车制造 Aerospace-航天航空 … ◆科学研究 Nuclear research – 核研究 Fusion technology – 聚变技术 Plasma research – 等离子研究 Nanotechnology – 纳米技术 Biotechnology – 生物技术 … |
