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氦质谱检漏仪维修&保养&演示视频:Pfeiffer Adixen ASM340

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氦质谱检漏仪维修&保养&演示视频:Pfeiffer Adixen ASM340

发布日期:2018-05-22 00:00 来源:http://www.realmeter.cn 点击:

本视频对一台维修改造好的ASM 340,用5个漏率量级的标准漏孔:E-10,-9,-8,-7,-6 mbar.L/sec,检测检漏仪各个量程检测的精确性以及线性一致性。

标准漏孔是检漏仪的唯一标准尺。

检漏仪维修得好不好,检测准不准,线性一致性是否良好,唯一判定标准是用各个量程的标准漏孔对检漏仪进行标定,看是否与标定值接近。

5个标准漏孔由美国雷科(LACO)公司生产,均提供高等级之美国NIST校准证书,并符合ISO/IEC17025标准,可作为第三方检测的标准源。

 

标定的结果:E-10量程误差较大。E-6~E-9  4个量程测量精确或接近,体现较好的精确性和线性一致性。

客户工件的合格漏率为E-8,E-9,检漏仪完全满足客户需求和睿米出厂标准。

标准漏孔检测结果汇总(mbar.L/sec)

S/N

标定值

修正值

读数

结论

#1

2.86E-10

~2.4E-9

7.0E-11

有较大差距

#2

5.17E-9

 

4.6E-9

精确

#3

3.00E-8

 

2.8E-8

精确

#4

1.29E-7

 

1.3E-7

精确

#5

1.29E-6

 

1.5E-6

精确

 

相关标签:氦质谱检漏仪

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