上海睿米仪器仪表有限公司
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本视频对一台维修改造好的ASM 340,用5个漏率量级的标准漏孔:E-10,-9,-8,-7,-6 mbar.L/sec,检测检漏仪各个量程检测的精确性以及线性一致性。
标准漏孔是检漏仪的唯一标准尺。
检漏仪维修得好不好,检测准不准,线性一致性是否良好,唯一判定标准是用各个量程的标准漏孔对检漏仪进行标定,看是否与标定值接近。
标定的结果:E-10量程误差较大。E-6~E-9 4个量程测量精确或接近,体现较好的精确性和线性一致性。
客户工件的合格漏率为E-8,E-9,检漏仪完全满足客户需求和睿米出厂标准。
标准漏孔检测结果汇总(mbar.L/sec) | ||||
S/N | 标定值 | 修正值 | 读数 | 结论 |
#1 | 2.86E-10 | ~2.4E-9 | 7.0E-11 | 有较大差距 |
#2 | 5.17E-9 |
| 4.6E-9 | 精确 |
#3 | 3.00E-8 |
| 2.8E-8 | 精确 |
#4 | 1.29E-7 |
| 1.3E-7 | 精确 |
#5 | 1.29E-6 |
| 1.5E-6 | 精确 |