上海睿米仪器仪表有限公司
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外置漏孔(检漏仪)
此种漏孔:用于氦质谱检漏仪的校准。这种漏孔方便、快捷,很容易对氦质谱检漏仪、检漏系统等进行校准。
关键词:空气 校准 标准漏孔 SF6 Ar氩气 Xe氙气 Kr氪气 D2氘气 Ne氖气
开放式气体标准漏孔,可同时指定压力、漏率等:
1) 气体类型 2)压力 3)漏率4)接口,提供全球高等级支美国计量局可跟踪证书。
应用场景:适用于任何全球任何品牌氦质谱检漏仪,包括英孚康Inficon、莱宝(Leybold)、阿尔卡特(Adixen)、普发(Pfeiffer),瓦里安(Varian)、安捷伦(Agilent)、皖仪(Wayee),中科科仪(KYKY), 岛津、Veeco、Edwards……
开放式标准漏孔不带气室或气体存储装置,需外接气源。适用于任何全球任何品牌氦质谱检漏仪和所有的气体检漏仪。
应用场景:
1)作为标准漏,真实模拟工况;
2)各种气体检测仪校准,包括氦质谱检漏仪,氢气检漏仪,各种冷媒检漏仪、SF6检漏仪,空调检漏仪等。
根据气体种类的不同,支持的漏率(单位:mbarL/s)有所差别:
1. 氦气(入真空):E-2~E-12 mbarL/s
2. 其他所有气体:(入真空):>5E-9 mbarL/s
3. 所有气体如大气::>5E-6 mbarL/s
睿米标准漏孔,都采用业界先进的通道技术(微通道),具有通道漏孔即时响应、温飘小(玻璃渗透为2%/℃,一般通道为0.2%/℃,微通道为01.%/℃),以及玻璃渗透支持小漏率、不易堵塞之优点;同时客服了普通通道技术只支持大漏率、易堵塞,以及玻璃渗透响应慢之缺点。
用户可以同时指定其中一个或多个条件:
(一) 指定气体
(二) 指定压力
(三) 指定气室大小,或开放式
(四) 指定接口
(五) 指定漏率或漏率区间
(六) 指定出口压力:真空或大气
(七) 外置、内置
为什么氦质谱检漏仪要用外置标准漏孔校准?
氦气标准漏孔,其中的一个重要作用是用于氦质谱检漏仪或者检漏系统的校准。
氦质谱检漏仪为什么要做校准(包括其他气体检漏仪如卤素、冷媒检漏仪遵循同样原理)?
可以把检漏仪当作一把测量尺,而标准漏孔就是一把标准尺。测量尺春夏秋冬由于热胀冷缩测量的读数是不一样的,这就需要标准尺去校正。同样,检漏仪也是如此,需要标准漏孔也校正。同时,根据测量精度不同,需要不同精度的标准漏孔校正。
现在很多检漏仪配置了内置标准漏孔,一般为10-7mbarL/s量级;自检通过(也就是利用内置漏孔做校准通过),这意味着在10-7mbarL/s的漏率附近,测出来的结果是比较准确的。
一般来说,检漏仪在自检通过后,并不能保证检漏仪在其他漏率区间保证一定是准确的。如内置漏孔为E-7mbarL/s量级,可能在E-9mbarL/s量级不准确(事实上,我们发现有知名品牌检漏仪自检通过,但存在其他量级不准确甚至相差1个数量级;更有甚者,可以人为调试机器在一个数量级准确,在其他数量级不准确的情况)。
所以,对于产品测试来说,如果要严格的保证产品准确性,准确的方式是用接近产品合格漏率点的标准漏孔进行校准。这才是正确的方法。
对检漏系统来说,标准漏产品也是如此重要。如检漏仪连接到测试系统,其测漏结果是Leak(系统)+Leak(产品);我们这时候要用标准漏产品去模拟合格漏率时检漏仪测试结果;在测试正式产品时,如果漏率>标准样品测试漏率,则产品不合格,反之则产品合格。
上述的分析是对任何气体检漏设备适用的,不分厂家,不分气体种类,以及不分检测方式。
如氦质谱检漏仪,有两种检测方式:真空法,与吸枪法。标准漏孔也有两种,真空法下的标准漏孔,连接到检漏仪入口;另一种就是吸枪漏孔,提供吸枪接口。
对于普遍用吸枪或嗅探模式的卤素、冷媒检漏仪,最佳的校准方式是提供对应气体类型的吸枪漏孔。但因为吸枪漏孔(出口为大气)一般的高精度为5E-6mbarL/s,现在一些超高精度的SF6如Q200,可以达到1E-8mbarL/s,可以提供出口为真空的SF6漏孔(如1E-7 mbarL/s),把吸枪对准漏放入真空环境,可以用来校准检漏仪。
定制标准漏孔,包括
1)全球任何品牌氦质谱检漏仪、氢气检漏仪、卤素检漏仪、冷媒检漏仪、SF6检漏仪内置、外置校准漏孔、吸枪校准漏孔
2)不同气体(各种惰性气体,空气,氧气,氨气,混合气体)、冷媒等;
2)带气体存储(有源)或不带气体存储(无源,需外接气源);
3)根据客户需求提供单点,多点校准
4)覆盖不同漏率,高精度E-12mbar.L/s(pa.m3/s),满足苛刻研究之需求
5) 采用微通道技术,抗堵塞、响应快,同时支持低漏率
6)定制各种复杂接口,阀门
7)所有漏孔都提供美国计量局NIST可追踪证书,全球高等级,非厂家证书级别可比
由于漏孔是高度定制产品,而且提供校准证书国家计量局规定每年都要校准,证书的有效期为壹年,因此漏孔产品需要预定,定制周期一般为28天~42天,请客户周知。
支持气体种类
Helium (He)氦气 Air空气 Argon (Ar)氩气 Nitrogen (N2)氮气 CO2二氧化碳 N2O二氧化氮 Helium 3 Isotope同位素氦-3 CO一氧化碳 Oxygen氧 | R-12 R制冷剂 R-22制冷剂 Hydrogen (H2)氢气 Deuterium (D2)氘气 SF6六氟化硫 Neon (Ne)氖气 Xenon (Xe)氙气 R-134a制冷剂 Methane (CH4)甲烷 | Krypton (Kr)氪气 R-404a制冷剂 R-290制冷剂 R-407c制冷剂 R-410制冷剂 NH3氨 Halon 1301三氟一溴甲烷 |
*用户可指定混合比例:如He:空气=50:50,H2:N2=5:95*
*如您需要的气体未在上述列出,请与我们联系*
多种接口支持
Inlet入口类型(开放式,连接外部气源): 0 = No Inlet Connection A = 1/8” FNPT B = 1/8” MNPT C = 1/4” FNPT D = 1/4” MNPT E = 1/4” Male VCR F = 1/4” Swagelock J = NW 16 Flange K = NW 25 Flange L = NW 40 Flange N = 1.33” Mini Con-Flat (CF) Flange S = Push-in, 1/4” | Outlet出口接头类型: NW 16 Flange NW 25 Flange NW 40 Flange VCR4 Male 1/4” Swagelock 1/8” FNPT 1/4” MNPT 10-32 Male with O-ring 1/8” MNPT 1/4” FNPT Universal Sniffer Probe Adaptor(通用吸枪接口) 2.75” Con-Flat (CF) Flange 1.33” Mini Con-Flat (CF) Flange Straight Thread, M8 Bolt Male |
*如您需要的接头未在上述列出,请与我们联系定制*