睿米®标准漏孔 产品手册大全&配置指导.pdf

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睿米®标准漏孔，全球行业领导者

性能指标全面远优于国外/国内同类产品，维度级别领先！

使用寿命数倍于国外/国内同类产品！

服务客户：H公司, B公司，C公司 , A公司，T公司，中国工程物理研究院，上海光源.....

全球第一个：10-11， 10-12， 10-13pa.m³/sec通道型He标准漏孔
全球第一个：新能源动力电池包H2检测规模应用，唯一H2标准漏孔提供商
全球第一个：真正实现零体积阀（＜0.1μL, 0.00098cm³）标准漏孔
全球第一个：背压式标准漏孔/动力电池pack泄露模拟仿真, 背压体积50μL
全球第一个：十二烷C12H26液态标准漏孔

......

传统的标准漏孔是易损坏品，需要小心苛护和使用；包装、运输、使用等都有“精密器件，常温使用，不能震动、不能磕碰、保持环境干净”等字样，极易损坏（大部分客户都遇到过漏孔运输、安装损坏的事情，甚至出现过30%-40%的损坏案例）；支持压力小（一般小于2MPa），漏率衰减（对有源漏孔）大需定期补气，维护复杂、成本高，使用寿命短；容易堵塞，导致漏率不准（不准的量具无意义的）；传统标准漏孔只能在常温环境中使用，在低温(如<0℃ )或高温(>50℃）就可能失效或损坏，且漏率对温度变化非常敏感，例如渗透型漏孔温度变化±10℃，漏率就会变化±40%。
睿米®标准漏孔，彻底改变目前口/国产绝大多数标准漏孔易损坏的致命缺点，支持遥遥领先的暴力抗震抗摔，抗高低温（-20-65℃），漏率精准、稳定，且几乎不受温度影响(温度变化±10℃漏率仅变化±1%）。
在睿米®标准漏孔的暴力测试系列中，直接对标准漏孔进行暴力砸摔，冰箱急冻，漏孔工作一切正常，漏率精确、稳定，这是技术代际差异带来的遥遥领先。

睿米®标准漏孔采用自研的RMI-MTC™微通道毛细管工艺，是漏孔工艺的革命性创新：

一、接近理想的圆管（50nm-200μm），遵循流导规律，且没有方向性（判断是否微通道毛细管漏孔的最简单方法，传统玻璃拉丝工艺、金属压扁都会有方向性，因为孔径不均匀）。
支持漏率精确定制，支持根据客户的压力和漏率要求制作合适的孔径和长度，一般按照公差±10%加工，最高±2%。市面的模拟/仿真标准漏孔的漏率无法做到精确定制，只能做到同一量级的漏率。
三、支持抗震、抗摔、抗堵塞能力强，且最高支持6000Psi压力（>40Mpa）。普通工艺仅支持1Mpa或2Mpa，且容易破碎、形变或堵塞。
四、制作的漏孔支持高压(40Mpa)，漏率稳定可以模拟各种压力的工况和漏率。从绝压5pa到40Mpa，睿米都可以提供定制。
五、漏率稳定，温度系数只有0.1%/℃，几乎不受稳定变化影响。工作温度-20-65℃（对比普通标准漏孔仅支持常温），适用于各种复杂工况和恶劣环境。
六、支持所有的气体（包含混气）类型。例如睿米提供N2:Ar:Xe:He:Kr=1:1:1:1:1标准漏孔，按照客户的指定漏率进行定制。

睿米®标准漏孔暴力测试系列

睿米®标准漏孔暴力测试系列（一）：

无源标准漏孔（4.75E-5mbar.L/s, He），暴力低温急冻 暴力抗震抗摔 超强漏率稳定性
https://www.sznflc.com/news_details/26.html

无源标准漏孔暴力测试https://www.zhihu.com/video/1753565107026911232

睿米®标准漏孔暴力测试系列（二）：

有源标准漏孔（1.16E-7mbar.L/s, He），暴力低温急冻 暴力抗震抗摔 超强漏率稳定性
https://www.sznflc.com/news_details/27.html

https://www.zhihu.com/video/1753571637763756033

睿米®标准漏孔暴力测试系列（三）：

有源标准漏孔（1.08E-8mbar.L/s, He），暴力低温急冻 暴力抗震抗摔 超强漏率稳定性
https://www.sznflc.com/news_details/28.html

睿米®标准漏孔测试系列（四

https://www.zhihu.com/video/1753572017033752576

）：

正压标准He漏孔，超高压力 极低衰减 不用更换气瓶 免维护 使用成本低 遥遥领先
https://www.sznflc.com/news_details/29.html

https://www.zhihu.com/video/1753572257954553856

观看完整视频和讲解，请复制链接，在浏览器打开

RMI-MTC™微通道标准漏孔（有源，带气室）充注压力大、衰减极小、漏率稳定，且温度对漏率的影响可忽略不计，适合做第三方机构机构的参考漏孔和精确标定。例如大漏率的1x10-5pa.m³的标准漏孔，阀门常开状态衰减<2.8%/年（对比普通漏孔~30%）。配合睿米自研的RMI-ZV™零体积阀（0.00098m³），可以实现超大漏率漏孔(1x10-3pa.m³）做到数年无需补气。<5x10-6pa漏孔，微通道标准漏孔常开状态衰减<1%, 0.1%, 乃至0.01%，可实现终身无需补气免维护。
结合睿米自研的RMI-Metal™金属密封工艺(<10-16Pa.m³/sec，高于普通密封工艺5个量级），彻底消除传统密封工艺的吸气、释气问题，可以满足最高真空度、最高洁净等级之要求，如RGA，半导体等。
从复杂工况的工业氦检/氢测模拟、仿真定制，到最高精度的科研需求，我们的标准漏孔产品广泛应用于新能源/汽车/制冷/电子/电力/半导体/航天航空/核工业/医疗/食品包装...，科学研究, 质谱/RGA分析 ...

无论何种气体，何种漏率，您都可以联系我们这里定制您需要的最好质量的标准漏孔

睿米®自研标准漏孔核心工艺和算法

一、自研的RMI-MTC™微通道毛细管技术

睿米经过多年研发, 攻克了关键的微通道毛细管技术, 解决了传统漏孔工艺不支持高压、衰减大、漏率不稳定、容易损坏的缺陷, 达到世界领先水平。自研RMI-MTC™微通道毛细管，支持全漏率、全压力、全气体覆盖，是漏孔制作工艺的革命性创新：
接近理想的圆管（50nm-200μm），遵循流导规律，且没有方向性（判断是否微通道毛细管漏孔的最简单方法，传统玻璃拉丝、金属压扁工艺因为孔径不均匀都会有方向性）。
全气体支持，包括但不限于：He, H2, 5%H2/95%N2, O2, D2, He3, Ar, Ke, Ne, Xe, N2, CO2, CO, CH4, C2H6, ...，冷媒/卤素/制冷剂：SF6/R134a/R22/R290/R410a/R407c/R545b/R600a/R1234yf/R1234yfze，液体：碳酸二甲酯DMC，正十二烷C12H26...，混气：如N2:Ar:Xe:He:Kr=1:1:1:1:1，或客户指定比例的混合气。
支持指定压力和漏率精确定制，真实模拟仿真各种工况：压力5pa-40Mpa，最小漏率10-13pa.m³/sec; 根据定制要求，制作和选取合适的孔径和长度，提供公差±10%或更高精确度的加工。传统工艺很难实现指定漏率和压力的精确定制。
超强耐受性：抗震、抗摔、抗高压冲击（最高40Mpa），防堵塞性好，而普通工艺仅支持1Mpa或2Mpa，且容易破碎、形变或堵塞。工作温度-20-65℃（普通标准漏孔仅支持常温），适用于各种复杂工况和恶劣环境。
超高漏率精确性、稳定性：温度系数0.1%/℃，几乎不受温度变化影响；结合RMI-Metal™金属工艺消除传统密封自身泄漏以及吸附，实现超高漏率精度和稳定性。
睿米®微通道标准漏孔的性能指标（超高的漏率精确性、稳定性、可重复性;超强的耐受性能如抗震、抗摔、防堵塞、抗高压力冲击等; 高低温适用性-20-65℃），和使用寿命等，实现对国外同类产品的全方位超越！

RMI-MTC™微通道毛细管工艺, 解决了传统漏孔不支持高压、衰减大、漏率不稳定、容易损坏的缺陷, 达到世界领先水平。制作的漏孔有如下特性：
1.一种工艺，支持全漏率、全压力、全气体覆盖
2.超强耐受性，支持抗震、抗摔，工作温度-20℃ - +65℃
3.超高的漏率精确性、稳定性、可重复性：温度系数仅为0.1%℃，几乎不受温度变化影响
各项性能指标，极限精度，使用寿命全面领先国外同类产品！

二、自研RMI-Metal™金属密封工艺，密封性能领先业界5~6个量级

密封材料存在的自身渗透率过大是传统工艺难以制作超高精度漏孔的技术难题。RMI-Metal™金属的密封性能达到了<1x10-15 atm.cc, 领先传统密封工艺的10-10atm.cc/sec 5~6个数量级。
RMI-Metal™金属密封，结合RMI-MTC™微通道毛细管工艺，可以制作最小漏率达10-13pa.m³/sec的通道型标准漏孔；同时解决了气体的吸附性问题，可广泛应用到半导体、超高真空等对气体纯度要求极高的领域。

三、自研的RMI-MZV™零体积手动阀，死体积＜0.1μL(0.000098cm³），系统零冲击

一般漏孔的阀体死体积是cm³量级，其存在的问题是阀门关闭，气体会继续漏出填满整个死空间，打开时会瞬间冲击真空系统。气体损失也会造成压力和漏率的衰减过大，特别是大漏率漏孔。
RMI-MZV™阀体，结合RMI-MTC™微通道毛细管工艺，以及RMI-Metal™金属密封工艺，实现了死体积(Dead Volume)仅为0.000098cm³，泄漏率<5x10-9atm.cc/sec@10Mpa。
即使充压10Mpa，RMI-MZV™零体积手动阀漏孔打开时，瞬间冲击的气体量<0.02cc,不会对真空系统造成冲击，适用于质谱分析、RGA、超高真空系统，支持大漏率(E-3到E-6Pa.m³/sec）、低衰减、漏率稳定，零真空系统冲击。

四、自研的RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀，死体积＜0.1μL(0.000098cm³），零自然衰减

与RMI-MZV™零体积手动阀唯一不同的是，RMI-PSOZV™阀采用气动常闭阀，不使用时阀门主动关闭（杜绝了误操作），阀门的泄漏率<1.0x10-7atm.cc/sec@2Mpa。
RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀标准漏孔适用于质谱分析、RGA、超高真空系统，使用和需要节省昂贵气体（如Xe，Kr的同位素气体，He3等），或要求自动化场景，支持大漏率(E-3到E-6Pa.m³/sec）、近似零自然衰减、漏率稳定、零真空系统冲击。

睿米®漏孔元器件、阀门、密封件采用自研设计和一体化设计，如KF/阀门一体集成设计，无源漏孔一体成型；消除传统漏孔密封、组装过程环节产生泄漏，以及密封材料和胶水可能的吸附和释气等问题，可满足最高等级应用，远优于国外同类产品。

五、自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法，可实现3~5天的快速定制和交付

标准漏孔业界普遍停留在手工和靠经验的基础上，交付经常要数周，乃至数月。
睿米自研RMI-Cal™软件可对不同种类的气体，以及任意比例的混气气体的物质属性（如动力粘度）进行计算，通过流导模拟、仿真和优化, 实现漏率的精确定制（公差±10%、 ±5%或±2%）, 快速定制，交付周期3-5天, 远超业界水平。

睿米®标准漏孔技术亮点

1）全气体支持，包括但不限于：

He, H2, 5%H2/95%N2, O2, D2, He3, Ar, Ke, Ne, Xe, N2, CO2, CO, CH4, C2H6, CH3CH3...
冷媒/卤素/制冷剂：SF6/R134a/R22/R290/R410a/R407c/R545b/R600a/R1234yf/R1234yfze
液体：DMC电解液，十二烷C12H26...
混气：如N2:Ar:Xe:He:Kr=1:1:1:1:1, 各种混合比例气体

2）全量程、全压力支持，并支持同时指定压力和漏率的精确定制：

漏率：100L/H ~ 5x10-12 mbar.L/s
压力：0-40Mpa；

2.1 有源漏孔（带气室）

抗震抗摔 超高压力 极低衰减 温度系数0.1%/℃ 工作温度：-20-65℃

2.1.1 He有源漏孔：

负压漏孔，入真空漏率范围5x10-2mbar.L/sec~5x10-12mbar.L/sec
正压漏孔，入大气漏率范围5x10-2mbar.L/sec~5x10-9mbar.L/sec

2.1.2 H2和其他气体有源漏孔（包含混合气）：

负压漏孔，入真空漏率范围5x10-2mbar.L/sec~5x10-9mbar.L/sec
正压漏孔，入大气漏率范围5x10-2mbar.L/sec~5x10-9mbar.L/sec
最高充气压力：12Mpa
根据客户要求，客户可定制气室规格、阀门类型、对外接口
气室规格：50cc，100cc，160cc，200cc，300cc，500cc，1000cc等。
阀门类型：无阀门，手动截止阀，隔膜阀（手动/气动），零体积阀（手动/气动），全金属阀...
接口类型：KF, VCR，NPT螺纹, G螺纹，R螺纹，吸枪适配口...

2.2 无源漏孔（所有气体）：

负压漏孔，入真空漏率范围6L/min~1x10-9mbar.L/sec
正压漏孔，入大气漏率范围100L/min~5x10-9mbar.L/sec
压力：0-40Mpa
接口类型：KF, VCR，NPT螺纹, G螺纹，R螺纹，吸枪适配口...
例如，无源漏孔1，模拟/仿真泄漏件，高压油轨：客户指定漏孔输入端压力为35Mpa表压，100%He，出口为真空，漏率为3.6x10-5mbar.L/sec，睿米可精确定制漏率，加工公差为±10%。
例如，无源漏孔2，模拟/仿真泄漏件2，动力电池pack：客户指定漏孔输入端压力为75Kpa绝压，出口为真空，100%He，漏率为5x10-5mbar.L/sec，睿米可精确定制漏率，加工公差为±10%。
例如，无源漏孔3，微流量发生器：客户指定漏孔输入端压力为1个大气压，出口为真空，100%O2，漏率为5.0x10-9mbar.L/sec，睿米可精确定制漏率，加工公差为±10%。
例如，无源漏孔4，微流量发生器：客户指定漏孔输入端压力为1个大气压，出口为真空，100%D2，漏率为5.0x10-8mbar.L/sec，睿米可精确定制漏率，加工公差为±10%。
例如，无源漏孔5，空调压缩机5%H2/95%H2氢测，氢气检漏仪校准：客户指定漏孔输入端压力为1个大气压，出口为真空，5%H2/95%H2，漏率2克/年，~1.54x10-6pa.m³/sec，睿米可精确定制漏率，加工公差为±10%。

3）产品形态多样化:

3.1 有源漏孔(带气室)、开放式无源漏孔(模拟和仿真泄漏件，模拟客户工件的测试压力与测试漏率进行定制，外接指定气源和压力)
3.2 真空漏孔、正压漏孔（出口压力为大气压）、或同时支持真空/正压漏孔（RMI-MTC微通道毛细管支持极高压力，对于≥5x10-9mbar.L/sec真空漏率/正压漏率相差可以做到小于0.1%）
3.3 背压式标准漏孔(模拟压氦体积最小1μL)，模拟客户背压测试工件条件，包括测试压力，背压体积，以及漏率要求。睿米全球第一个推出背压式标准漏孔，用于动力电池pack密封测试。
3.4 可调漏率标准漏孔，如TLS3-5 （10-3mbar.L/sec-10-5mbar.L/sec漏率可调）， TLS4-6（10-4mbar.L/sec-10-6mbar.L/sec漏率可调）
3.5 卤素/冷媒/制冷剂标准漏孔：支持所有的制冷剂类型，采用液态+气态双气室设计，一次充注，长期使用。并使用数字压力表，精确调压和调漏率，漏率支持：1x10-6Pa.m3/sec~1x10-3pa.m3/sec，或支持0.1-1000克/年。
3.6 气密性漏孔，介质为空气或N2。用于校准气密检漏仪或进行工件模拟、仿真、和校准。定制漏率范围：100L/min~0.0001ml/min，压力：-1~40Mpa
3.7 RMI-MZV™零体积阀标准漏孔：常规阀体死体积一般0.5-2cc，采用睿米自研零体积手动/气动阀，阀体死体积仅为0.00098cc（0.98μL），提高2~3个量级。适用于大漏率标准漏孔，可以最低限度降低气体损失以及漏率衰减；同时可用于超高真空系统/四极质谱/RGA/半导体等应用场景，消除阀门开关对高真空系统的冲击。
3.8 混气标准标准漏孔：如N2:Ar:Xe:He:Kr=1:1:1:1:1，或客户指定气体种类或混合比
3.9 液态标准漏孔：如DMC电解液标准漏孔， 十二烷C12H26标准漏孔
3.10 高压标准漏孔: 压力≥5Mpa。如He压力35Mpa，漏率为3.0x10-5mbar.L/sec；或如He压力5Mpa，漏率为1.0x10-6mbar.L/sec
3.11 丰富的接口类型： 支持常见的KF16, KF25, KF40, KF50，CF16, CF40, VCR1/4, G1/8, G1/4, R1/4, R1/8, 1/8NPT, 1/4NPT, M8, M10, Staubli等。大部分接口采用一体化设计，如阀门与VCR，KF25接口一体化设计，无源漏孔采用一体化设计等，最大程度降低泄露或物理上避免泄漏的发生
3.12 各种阀门：手动截止阀，全金属阀，隔膜阀，零体积阀...， 睿米自研的阀体，采用硬质密封技术，在压力>10MPa条件下，实现漏率＜http://1x10-9atm.cc/sec

4）遥遥领先的性能指标:

睿米标准漏孔性能指标（如漏率稳定性、可重复性，抗温度影响，抗堵塞，抗震抗摔，高低温测试）远优于国外/国内同类产品
使用寿命数倍于国外/国内同类产品！

4.1 超高压力 极低衰减 极低或无需维护 使用寿命长

无源标准漏孔支持40Mpa压力，可以模拟/仿真高压油轨泄露或高压力容器等。
有源漏孔支持12Mpa，是大部分厂家的1~2Mpa的数倍，也就是说同等条件下，充气其他厂家的1Mpa标准漏孔如果1年衰减10%，睿米微通道毛细管漏孔10年才衰减10%。
睿米有源标准漏孔，包括正压和真空漏孔，<1x10-6mbar.L/sec的可以实现生命周期无需补气免维护; 即使如5x10-2mbar.L/sec的，结合睿米零体积阀体，可以实现数年无需补气，极大降低维护工作以及使用成本。

4.2 抗震 抗摔 抗高压冲击 防堵塞性好：

睿米RMI-MTC™微通道漏孔可以支持抗震、抗摔，耐操性强；之前国外/国内的大部分的标准漏孔需要细心苛护，运输的时候要用防震棉，使用的时候要轻拿轻放，不小心磕碰就损坏，昂贵的标准漏孔成了一种易消耗品。使用的时候，压力过高，充压/泄放过快都有可能造成漏孔
睿米RMI-MTC™微通道毛细管标准漏孔，是业界目前唯一支持暴力测试的，例如我们把标准漏孔进行跌落测试、砸摔测试，冷冻测试（放到冰箱-20℃急冻），漏孔工作正常。

4.3 广泛的环境和工况适应性:

抗震抗摔，抗超高压力反复冲击（最高到40Mpa）
温度支持-20~65℃, 其温度对漏率的影响业界最小，仅为0.1%/℃。
可以广泛的应用于工作恶劣之环境，同时满足科研，半导体、光源等最高等级之需求。
5）遥遥领先的交付能力（3-5天）:
睿米领先的自研RMI-Cal™专有算法，对加工工艺、流导计算进行优化, 可以根据客户指定的压力和漏率进行快速定制，定制漏率公差±10%、 ±5%或±2%, 交付周期3-5天, 远超业界水平。