上海睿米仪器仪表有限公司
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睿米® MDZV™阀 / 氘气D2标准漏孔
订货号：睿米®RM5DL-6154JVG/6
睿米® 可以根据用户的需要，做到高度的定制。包括定制压力、漏率、气体、接口等（如果是单一气体，该气体的漏率；如果是混合气体，定制某一气体的分漏率或混合气总漏率、气体种类、比例、同位素、丰度等）。
下面是为某用户定制的氘气D2标漏孔：
订货号：RM5DL-6154JVG/6
校准漏率：1~2x10-6Pa.m³/sec；氘气D2(100%) ；气室160cc；出口真空，出口接头VCR1/4 male，转CF16；RMI-MDZV™ 零体积手动阀；数字式高精度压力表。
技术规格 | ||
1 | 订货号 | RM5DL-6154JVG/6 |
2 | 气体 | 100%D2（氘气） |
3 | 漏率 | 要求1~2x10-6Pa.m³/sec 入真空 |
测量校准点：(2.0, 1.9, 1.8, 1.7, 1.6, 1.5, 1.4, 1.3, 1.2, 1.1, 1.0)x10-6Pa.m³/sec 入真空 | ||
4 | 气室/充气压力 | 160cc，~1MPa |
5 | 阀门 | RMI-MZV™零体积手动阀 |
※呆体积：0.098μL，开/关阀门气体接近0损失, 对系统0冲击 | ||
※内漏：<5x10-10atm.cc/sec ※外漏：<1x10+11atm.cc/sec | ||
6 | 制作工艺 | RMI-MTC™微通道（Micro-Tube Capillary）, RMI-Metal™金属密封， 抗震，抗摔，对运输和使用环境无特殊要求。使用寿命长, 支持400Bar高压反复冲击， 防堵塞性优异, 使用温度：-20~65℃, 漏率稳定， 温度敏感性小(无源：-0.6%/℃，有源：0.1%/℃). |
7 | 出口连接 | VCR1/4 male， 转CF16 |
8 | 衰减 | ~23%/年（阀门常开）不使用时，务必保持阀门关闭！ |
9 | 压力 | 1.6Mpa压力表（数字式） |
10 | 规格尺寸 | 350mm(长) x 130mm(最宽) x 80mm(高) |
11 | 证书 | 默认附睿米®出厂检测证书，或第三方CNAS检测证书（如需要） |
应用领域：
1. 核工业与核聚变研究（核心应用）：这是氘气标准漏孔最重要、最独特的应用领域。
2. 半导体工业：在一些先进的半导体工艺中，会使用到氢气或含氘气体（例如，在化学气相沉积中作为载气，或用于退火工艺）。
3. 科学研究：粒子加速器与表面科学,研究等离子体辐照后材料中氢同位素的滞留情况等，高精尖科学研究中，会用氘气标准漏孔。
4.新能源及特种工业领域：在氢能、新能源等新兴工业领域，部分特殊工艺会涉及氘气的使用或相关气体检测。
睿米公司的标准漏孔，采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术，配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法，可以做到根据用户的要求进行精确定制：
★手动，零体积阀，呆体积<0.1μL| 阀门开关对RGA/高真空系统零冲击
★适合大漏率、超高真空、半导体、四极质谱、RGA残余气体分析，昂贵气体等场景
★支持所有气体10+1 ~10-8mbar.L/s漏率定制: Air/XCDA, He, H2, D2, HD, N2, O2, Ar, Kr, Xe, Ne, CO2, CO, CH4, C2H6, 混气...
睿米 ® 标准漏孔：全球行业领导者，开启漏孔技术新纪元
RealMeter® Calibrated Leak Standard: The global industry leader, inaugurating a new era of leak technology.
上海睿米仪器仪表有限公司，专注于标准漏孔的研发与生产。公司凭借多年的技术沉淀，成功攻克微通道毛细管技术难题，自主研发出一系列领先行业的产品。我们致力于为新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航天航空、核工业、医疗、食品包装等众多领域提供高精度、高性能的标准漏孔产品，助力各行业实现更高效、更精准的检测与控制。
在标准漏孔领域，睿米 ® 凭借卓越性能、创新工艺和广泛应用，成为全球行业领导者。我们的标准漏孔产品性能指标全面超越国内外同类产品，使用寿命更长，服务众多知名企业和科研机构，如H 公司、B 公司、C 公司、A 公司、T 公司、中国工程物理研究院、上海光源等。
In the field of calibrated leak standards, RealMeter® has become the global industry leader by virtue of its excellent performance, innovative technology and wide applications. The performance indicators of our calibrated leak standard products comprehensively surpass similar products at home and abroad. They have a longer service life and serve many well-known enterprises and scientific research institutions, such as Anhui Wanyi Science and Technology Co., Ltd., Huawei, BYD, CATL, Apple, Tesla, China Academy of Engineering Physics, Shanghai Synchrotron Radiation Facility, etc.
