深圳氦气加压腔体

所属分类：深圳氦质谱检漏仪
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发布日期：2016/02/02
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详细介绍

氦气加压真空腔体和加压控制站

氦气加压真空腔体，主要用于加压、保压、抽真空等作用。常用于小型的密封产品检漏测试，例如电子类产品，芯片、小型压力计、温度计等。由于产品小，不能使用常见的充氦或喷氦方法进行测试，而是用背压法检漏（）。需要将待测产品，放置到密封的、可加压的真空腔体内，设置一定压力（例如，3bar）；保压一段时间（例如，2小时）；然后用氮气或空气，将待测样品表面的氦气吹净；再降待测样品放在真空腔体内，用氦质谱检漏仪测试。

氦气加压系统就是要在氦检漏前，先对小型电子密封类样品进行氦气加压，然后再用氦质谱检漏仪进行检漏测试。雷科公司提供手动或全自动的两种氦气加压系统。自动加压系统符合微电子密封的测试标准MIL-STD-883。