贺山LACO TitanTestᵀᴹ T100M(30m³/h Dry)大抽速移动式氦质谱检漏仪(干式)

所属分类：贺山氦质谱检漏仪
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发布日期：2018/05/16
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详细介绍

LACO TitanTest™ T100M(30m3 /h Dry)

移动式大抽速高性能氦质谱检漏仪（订货号：TITAN100M-30D）

LACO Titan T100(30m3/h Dry) 移动无油干式氦气检漏仪，配置30m3/h 干式涡旋泵，适合洁净生产环境之严苛需求以及中到大工件的检测，且一般不需要外置辅助真空泵。可以广泛应用于半导体、医疗、科研、实验等需求。

通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的合理真空结构， Titan T100(30m3/h Dry)提供的前所未有的泄漏率检测达 < 5x10-12 mbar.L/sec。

图1：LACO Titan T100M(30m3/h) 大抽速移动式氦质谱检漏仪

一、技术规格

项目		描述
可检测气体		4He, 3He, H2
最小可检测漏率	真空法	4He： <5x10-13pa.m3/s（5x10-12mbar.L/s）
		3He： <5x10-11pa.m3/s（5x10-10mbar.L/s）
		H2： <5x10-9pa.m3/s（5x10-8mbar.L/s）
	吸枪法	4He, 3He, H2: <x10-9pa.m3/s（5x10-8mbar.L/s）
		独立吸枪接口（不占用真空口）
检测模式		Gross(粗检), Fine(精检), Ultra(超精检)
检测方法		真空(Vacuum)，吸枪(Sniff)，自动检测(Auto)
入口法兰		KF25
最大入口压力		25mbar
分子泵抽速		2.5l/s (SplitFlow 80)
前级泵抽速		30m3/h涡旋泵
响应时间		真空（63% signal）：0.3s
		吸枪（3m）：<1s
自检		内置标准漏孔（NIST可跟踪证书），温度系数0.1%/℃，可忽略温度修正
		支持Gross, Fine, Ultra三种模式校准，确保测试精度
启动时间		≤3min
采样频率		20Hz
接口		RS232 or RS485, Analog Output, Discrete I/O
工作温度		10℃ ~ 35℃
工作电压		115/230 VAC, 50/60 Hz
重量		110kg
功耗		1000W
尺寸(mm）		长726 x437 x1010推车+主机

二、特点(Key Features)

1）业界先进的全量程测量的精确性与一致性(演示视频)。

T100提供先进的全量程测量的精确性与一致性。

性能演示视频1(真空法，Vacuum)；LACO Titan T100业界先进的全量程测量的精确性与一致性
(8个标准漏孔,,E-12 ~E-5mbar.L/sec, 8个量级,全量程线性一致性和精确性检测极限测试)

性能演示视频2(吸枪法，Sniffer)；LACO Titan T100业界先进的全量程测量的精确性与一致性
(一组标准漏孔,,E-8 ~E-5mbar.L/sec, 4个量级,全量程线性一致性和精确性检测极限测试）

2）三种测试模式：Gross(粗检), Fine(精检), Ultra(超精检)

3）高入口压力：25mbar，快速进入检测

4）自检：T100内置NIST可跟踪证书的标准漏孔，温度补偿仅为0.1%/℃；支持在三种模式下（Gross, Fine, Ultra）自动校准确保每种模式下测量的准确性。

5）长寿命氧化钇涂层铱双离子源灯丝：3年质保

图2：配套设备-T100一揽子综合解决方案

三、应用领域(Application Scenarios)

◆科学研究：

Electron microscopy – 电子显微镜

Mass spectrometry – 质谱

Surface analysis – 表面分析

Plasma monitoring – 等离子体监测

Residual gas analysis – 残余气体分析

...

◆半导体

Lithography锂电池

PVD /CVD

Plasma etching等离子刻蚀

MBE 分子束外延

…

◆镀膜

Hard disk coating – 硬盘镀膜

Photovoltaics – 光伏

Glass coating (PVD) – 玻璃镀膜

Optical coating (PVD) – 光学镀膜

Wear protection (PVD, CVD) –硬质涂层

Web coating – 卷绕镀膜

…

◆工业

Medical technology – 医学技术

Industrial leak detection – 工业检漏

Electron beam welding – 电子束焊接

Lamp /tube manufacturing – 灯管制造

Automobile –汽车制造

Aerospace-航天航空

…

◆科学研究

Nuclear research – 核研究

Fusion technology – 聚变技术

Plasma research – 等离子研究

Nanotechnology – 纳米技术

Biotechnology – 生物技术

…

四、常用订货号

项目	描述	订货号
LACO TitanTest™ T100检漏仪
T100 Wet便携式检漏仪	T100便携式检漏仪，油式，45kg	TITAN100W
T100 Dry便携式检漏仪	T100便携式检漏仪，无油干式，38kg	TITAN100D
T100M(16m³/h Wet)移动式检漏仪	主机模块+推车+16m³/h旋片泵，油式检漏仪	TITAN100M-16W
T100M(30m³/h Wet)移动式检漏仪	主机模块+推车+30m³/h旋片泵，油式检漏仪	TITAN100M-30W
T100M(15m³/h Dry)移动式检漏仪	主机模块+推车+15m³/h涡旋泵，无油干式检漏仪检漏仪	TITAN100M-15D
T100M(30m³/h Dry)移动式检漏仪	主机模块+推车+30m³/h涡旋泵，无油干式检漏仪检漏仪	TITAN100M-30D
常用配件
有线控制模块（4m有线）	Wired Remote Control RC 800, 13 ft (4 m) Cable Included	TR100
无线控制模块（100m无线）	Wireless Remote Control RC 800 WL, Up to 330 ft (100 m)	TR101
WIFI发射模块	WiFi Adapter for TitanTest™ Communication Module	TCM-WIFI
通信模块	TitanTest™ Communication Module with Data Logging / Ethernet	TCM50
通信模块（加打印）	TitanTest™ Communication Module with Data Logging / Ethernet	TCM50-PT
二维码扫描枪	Barcode Reader for TitanTest™ Communication Module	TCM-BC
3m吸枪	Sniffer Probe - 10 ft (3 m)	LSP-01N-10
10m吸枪	Sniffer Probe - 33 ft (10 m)	LSP-01N-33
3m增强吸枪（清零+显示）	Enhanced Sniffer Probe - 10 ft (3 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid Tip	T2003
10m增强吸枪（清零+显示）	Enhanced Sniffer Probe - 33 ft (10 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid Tip	T2010
喷枪(带620cc气瓶+减压阀）	Helium Spray Probe - 10 ft (3 m) Poly tube with Regulator and 620cc Reservoir	LHSP07
入口滤芯	Inline NW25 Filter Housing with 40 Micron Sintered Bronze Element	LVF-E-NW25-40-10
内置校准漏孔	Internal Helium Leak Standard for TitanTest™, Low 10-7 mbarL/sec	CM102492
外置校准漏孔-7	External Helium Leak Standard, Low 10^-7 mbarL/s NW25, Manual Valve	CM51L-71111V0/4
外置吸枪校准漏孔-4	Sniffer Helium Leak Standard, 5 x 10^-4 mbarL/sec, Pressure Gauge, Refill Valve	CM515.0-4102DAG/4