上海睿米仪器仪表有限公司
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睿米® RMI-PSOZV™常用RGA校准漏孔
组份：Xe, Kr, Ar, N2, He各20%
睿米® 推出适用RGA（Residual Gas Analysis，残余气体分析仪）四极质谱，进行校准的标准漏孔。可以根据用户的需要，做到高度的定制。包括定制漏率（如果是单一气体，该气体的漏率；如果是混合气体，定制某一气体的分漏率或混合气总漏率）、气体种类、比例、同位素、丰度等。
单一气体定制： 可以选择任何需要监控或校准的特定气体，例如 H₂, O₂, CO₂, CH₄, SF₆, Kr, Xe 等
混合气体的定制：
1、气体种类： 精确模拟实际工艺腔室或真空系统中的残余气体成分。
2、气体比例： 设定各组分气体的精确浓度（例如：Xe, Kr, Ar, N2, He各占20%）。
3、同位素种类与丰度： 这对于使用同位素示踪的研究、特定同位素敏感的应用或需要校准RGA同位素分辨能力的场景至关重要。例如，定制特定比例，Xe-132(94%atom), Kr-84（56%atom）, Ar， N2， He各占20%等
典型技术指标 (Performance Index) | ||
1 | 订货号 | RM5XM-61455V0/6/T |
2 | 气体组份 | He, N2, Ar, Kr, Xe各20% |
3 | 漏率 | 5.0 x 10-6pa.m³/sec 入真空 |
4 | 气室/充气压力 | 150cc，20bar |
5 | 阀门 | RMI-PSOZV™零体积常闭气动阀， |
气动执行：5-8bar（M5内丝，转6*4快拧，接6mm气管） | ||
呆体积：0.098μL，阀门开/闭系统0冲击，气体0损失 | ||
内漏：<5x10-10atm.cc/sec | ||
外漏：<5x10-11atm.cc/sec | ||
6 | 制作工艺 | RMI-MTCTM微通道毛细管|RMI-Metal™金属密封工艺 |
温度系数：0.1%/℃|工作温度：-20℃ ~ +65℃| 抗震抗摔 | ||
7 | 出口连接 | VCR ¼ Male（弯头转接） |
8 | 衰减 | 自然衰减：<0.1%/年 |
使用衰减：<3.0%/年（60次x30min） | ||
9 | 规格尺寸 | 435mm（长）x 120mm（最宽） |
10 | 证书 | 出厂检测证书，或第三方检测证书 |
应用场景
1、半导体制造： 精确监控和校准RGA对工艺气体残留（如蚀刻、沉积、离子注入后的副产物）、腔体泄漏（特定气体）的检测能力。定制混合气可模拟真实腔体环境。
2、真空镀膜： 校准RGA对背景气体（水汽、氧气、氮气、碳氢化合物）的灵敏度，确保镀膜质量。
3、高能物理/加速器： 需要监控超纯真空或特定气体环境。同位素定制对某些实验尤为重要。
4、聚变研究： 对氢同位素（H₂, D₂, T₂）及其比例的精确监测和校准需求极高。
5、航天器测试： 模拟太空环境或检测推进剂泄漏（如定制肼类气体或氙气）。
6、基础研究： 任何需要精确知道残余气体成分和比例，并对RGA测量精度有高要求的实验室。
7、泄漏检测（配合示踪气）： 虽然RGA本身常用于检漏，但定制特定示踪气体的标准漏孔可用于校准整个检漏系统（RGA+真空系统）对该种气体的响应。
睿米公司的标准漏孔，采用自研RMI-MTC™微通道毛细管技术，配合自研RMI-Cal™气体物质属性、流导模拟/仿真算法，可以做到根据用户的要求进行精确定制：
✪指定漏率，指定压力。
✪提供全气体选择：包括但不限于He，H2, Air，Ar，N2，CH4，R-134a，600a，SF6等单一气体或混合气体，十二烷C12H26、DMC碳酸二甲酯C3H6O3等液体。
✪并且提供众多的接头，供用户选择。
✪自研RMI-MZV™零体积手动阀，自研RMI-PSOZV™零体积主动关闭阀。
睿米 ® 标准漏孔：全球行业领导者，开启漏孔技术新纪元
RealMeter® Calibrated Leak Standard: The global industry leader, inaugurating a new era of leak technology.
上海睿米仪器仪表有限公司，专注于标准漏孔的研发与生产。公司凭借多年的技术沉淀，成功攻克微通道毛细管技术难题，自主研发出一系列领先行业的产品。我们致力于为新能源、汽车、制冷、电子、电力、半导体、航天航空、核工业、医疗、食品包装等众多领域提供高精度、高性能的标准漏孔产品，助力各行业实现更高效、更精准的检测与控制。
在标准漏孔领域，睿米 ® 凭借卓越性能、创新工艺和广泛应用，成为全球行业领导者。我们的标准漏孔产品性能指标全面超越国内外同类产品，使用寿命更长，服务众多知名企业和科研机构，如H 公司、B 公司、C 公司、A 公司、T 公司、中国工程物理研究院、上海光源等。
In the field of calibrated leak standards, RealMeter® has become the global industry leader by virtue of its excellent performance, innovative technology and wide applications. The performance indicators of our calibrated leak standard products comprehensively surpass similar products at home and abroad. They have a longer service life and serve many well-known enterprises and scientific research institutions, such as Anhui Wanyi Science and Technology Co., Ltd., Huawei, BYD, CATL, Apple, Tesla, China Academy of Engineering Physics, Shanghai Synchrotron Radiation Facility, etc.
