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加压控制系统(背压法)
Helium Bombing Stations
加压控制系统(背压法)是一套为电子类产品或其他类似的小工件样品(不方便进行充氦检测的),在进行氦检测试前,对样品进行氦气加压的装置。这套装置,可以手动操作,也可以配合Atlas™氦气充放装置实现全自动操作。如果再加上TitanTest™氦质谱检漏仪,和一个测试盒,就成为一套针对电子类产品的氦检系统。
图1:台式压氦系统
图2:移动式压氦系统
加压控制系统包括真空腔体,控阀门,压力计,放气阀,压力安全阀,真空泵(干泵)等。控制压力从真空到7bar(100Psi)。分为台式和移动式两种配置。
如果增加Atlas™氦气充放装置,可实现自动控制。可储存100个测试程序;实现自动的充气增压、保压等设置;可对样品进行吹扫气;有8GB的SD卡,可保存数据,同时可以通过网络进行控制等。
加压控制系统符合标准Mil-Std-883J, Method 1014.14 既《微电子器件试验方法和程序》
图3:自动压氦控制系统