雷科T100高性能氦质谱检漏仪

发布日期：2017-04-10 00:00 来源：http://www.realmeter.cn 点击：

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美国雷科(LACO)高性能氦/氢质谱检漏仪

从便携式到移动式大型检漏一体化解决方案

LACO Titan™ T100，是美国雷科公司在真空、检漏等相关领域的50年丰富经验基础上，研制、开发、推出的一款高性能氦/氢质谱检漏仪，提供业界测试高精度及一致性，满足客户生产、科研及各种应用场景和苛刻的需求！

美国雷科LACO T100氦质谱检漏仪

特点（Features）：

◆内置带NIST可跟踪证书的标准漏孔，T100提供业界先进的全量程测量的精确性与一致性。

◆质保承诺：离子源3年，漏孔终身校准。

◆内置的自动(Auto)测试模式，无需PLC即可实现大部分的自动化测试。配合ATLAS自动测试一体化控制器，可以实现系统自动加压、充放气、复杂的PLC控制的自动化检漏测试功能。

◆Smart多用途、可扩展设计：

T100	便携式，45kg，内置6m3/h前级油泵
T00 Dry	便携式，35kg，内置前级1.2m3/h涡旋干泵(极限真空度：1pa），适合洁净生产环境之需求
T100 Modul	28kg主机，无内置前级泵，可灵活选用干式或湿式粗抽泵及移动推车，即可搭建不同抽速之中、大型检漏仪或检漏系统，满足各种检漏之环境。
	T100/T100 Dry亦可如T100 Modul扩展

便携式-移动式氦质谱检漏仪

便携式检漏仪T100（油式）移动式检漏仪T100 Modul

或T100D (干式）（选配不同规格干、湿泵，搭建大中型检漏仪）

◆真空检漏系统综合一揽子解决方案

提供业界全面的一揽子的真空检漏解决方案和配套设备、根据自身的需求，客户自己可定制所需的真空测试、检漏系统。

雷科 T100 氦质谱检漏仪

配套设备-T100氦质谱检漏仪检漏方案一揽子解决方案

技术规格(Technical Specification)：

		便携式T100	便携式T100 Dry	移动式T100 Modul
可检测气体		4He, 3He, H2
最小可检测漏率	真空法	4He： <5x10-13pa.m3/s（5x10-12mbar.L/s） 3He： <5x10-11pa.m3/s（5x10-10mbar.L/s） H2： <5x10-9pa.m3/s（5x10-8mbar.L/s）
	吸枪法	4He, 3He, H2: >5x10-9pa.m3/s（5x10-8mbar.L/s）独立吸枪接口（不占用真空口）
检测模式		Gross(粗检), Fine(精检), Ultra(超精检)
检测方法		真空(Vacuum)，吸枪(Sniff)，自动检测(Auto)
入口法兰		KF25
最大入口压力		25hpa
分子泵抽速		2.5l/s (SplitFlow 80)
前级泵抽速		6m3/h	1.2m3/h涡旋泵(1pa)	选配
响应时间		真空（63% signal）：0.3s 吸枪（3m）：<1s
启动时间		≤3min
采样频率		20Hz
接口		RS232 or RS485, Analog Output, Discrete I/O；功能强大的软件操作，可实现半自动或全自动的操作,支持IP网络控制
工作温度		10℃ ~ 35℃
工作电压		115/230 VAC, 50/60 Hz
重量		45kg	35kg	主机：28kg 推车：32kg +真空泵
功耗		400W	350W	250W(主机）
尺寸LxWxH(mm)		554 x 422 x 292		726 x437 x1010 推车+主机

应用领域(Application Scenarios)：

◆科学研究：

Electron microscopy – 电子显微镜

Mass spectrometry – 质谱

Surface analysis – 表面分析

Plasma monitoring – 等离子体监测

Residual gas analysis – 残余气体分析

...

◆半导体

Lithography锂电池

PVD /CVD

Plasma etching等离子刻蚀

MBE 分子束外延

…

◆镀膜

Hard disk coating – 硬盘镀膜

Photovoltaics – 光伏

Glass coating (PVD) – 玻璃镀膜

Optical coating (PVD) – 光学镀膜

Wear protection (PVD, CVD) –硬质涂层

Web coating – 卷绕镀膜

…

◆工业

Medical technology – 医学技术

Industrial leak detection – 工业检漏

Electron beam welding – 电子束焊接

Lamp /tube manufacturing – 灯管制造

Automobile –汽车制造

Aerospace-航天航空

…

◆科学研究

Nuclear research – 核研究

Fusion technology – 聚变技术

Plasma research – 等离子研究

Nanotechnology – 纳米技术

Biotechnology – 生物技术

…

订货号(Order Info)：

项目	描述	订货号
uT100检漏仪
T100便携式检漏仪，油式	内置6m3/h旋片泵,45kg, 110/220VAC，单相	TITAN100W
T100 Dry便携式检漏仪，干式	内置1.2m3/h涡旋泵,35kg, 110/220VAC	TITAN100D
T100 Modul主机	28kg,110/220VAC，需配置移动推车、外置真空	TITAN100M
uT100 Modul选用配件
移动推车	带电源模块,110/220VAC，30kg	T100MC10P
双级旋片真空泵，带推车安装套件	14.4m3/h，25kg, 110/220VAC,单相	RVPSD240S
双级旋片真空泵，带推车安装套件	21.6m3/h, 32kg, 110/220VAC, 单相	RVPSD360S
双级旋片真空泵，带推车安装套件	36m3/h, 33kg, 110/220VAC,单相	RVPSD600S
无油涡旋真空泵，带推车安装套件	15m3/h, 35kg, 110/220VAC,单相	DSPISP250
无油涡旋真空泵，带推车安装套件	30m3/h, 44kg, 110/220VAC,单相	DSPISP500
u常用配件
Bypass阀组件	气动阀，External Pump Valve Kits	T102587-PC
Bypass阀组件	电磁阀，External Pump Valve Kits	T102587-EC
通信模块	TitanTest™ Communication Module with Data Logging / Ethernet	TCM50
通信模块（加打印）	TitanTest™ Communication Module with Data Logging / Ethernet	TCM50-PT
二维码扫描枪	Barcode Reader for TitanTest™ Communication Module	TCM-BC
WIFI发射模块	WiFi Adapter for TitanTest™ Communication Module	TCM-WIFI
有线控制模块	Wired Remote Control RC 800, 13 ft (4 m) Cable Included	TR100
无线控制模块	Wireless Remote Control RC 800 WL, Up to 330 ft (100 m)	TR101
3m吸枪	Sniffer Probe - 10 ft (3 m)	LSP-01N-10
10m吸枪	Sniffer Probe - 33 ft (10 m)	LSP-01N-33
3m增强吸枪（清零+显示）	Enhanced Sniffer Probe - 10 ft (3 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid Tip	T2003
10m增强吸枪（清零+显示	Enhanced Sniffer Probe - 33 ft (10 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid Tip	T2010
喷枪(带620cc气瓶+减压阀）	Helium Spray Probe - 10 ft (3 m) Poly tube with Regulator and 620cc Reservoir	LHSP07
入口滤芯	Inline NW25 Filter Housing with 40 Micron Sintered Bronze Element	LVF-E-NW25-40-10
内置校准漏孔	Internal Helium Leak Standard for TitanTest™, Low 10-7 mbarL/sec	CM102492
外置校准漏孔-7	External Helium Leak Standard, Low 10-7 mbarL/s NW25, Manual Valve	CM51L-71111V0/4
外置吸枪漏孔-4	Sniffer Helium Leak Standard, 5 x 10-4 mbarL/sec, Pressure Gauge, Refill Valve	CM515.0-4102DAG/4